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;10.1109/IC-MAM60575.2024.10539019Analysis of Plate Acoustic Waves Resonance Properties Using Thin Plate of LiNbO<inf>3</inf>/SiCRF filtersResonatorsSurface acoustic wavesPlate acoustic wavesLiNbO3 (LN)Cubic silicon carbide3C-SiCNoriyuki WatanabeShoji Kakio 2024 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics &amp; Mechanics (IC-MAM)3713 May 202410.1109/IC-MAM60575.2024.1053901940 VoR endstream endobj 5 0 obj << /Kids [7 0 R 9 0 R 10 0 R 11 0 R] /Type /Pages /Count 4 /ITXT (2.1.7) >> endobj 7 0 obj << /Contents [12 0 R 13 0 R 14 0 R 15 0 R 16 0 R 17 0 R 18 0 R 19 0 R 20 0 R 21 0 R] /Type /Page /Resources << /ColorSpace << /CS0 [/ICCBased 22 0 R] >> /ExtGState << /GS0 23 0 R >> /ProcSet [/PDF /Text /ImageB /ImageC /ImageI] /Font << /T1_0 24 0 R /T1_2 25 0 R /T1_1 26 0 R /Xi0 27 0 R /TT13 28 0 R /TT12 29 0 R /TT14 30 0 R /TT5 31 0 R /TT6 32 0 R /TT11 33 0 R /TT3 34 0 R /TT10 35 0 R /TT4 36 0 R /TT1 37 0 R /TT2 38 0 R /TT0 39 0 R /TT9 40 0 R /TT7 41 0 R /TT8 42 0 R /F20 43 0 R 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