%PDF-1.4 %âãÏÓ 1 0 obj <> endobj 2 0 obj <>stream application/pdf doi:10.1038/s41467-020-18005-7 High-temperature-resistant silicon-polymer hybrid modulator operating at up to 200 Gbit s−1 for energy-efficient datacentres and harsh-environment applications Guo-Wei Lu Jianxun Hong Feng Qiu Andrew M. Spring Tsubasa Kashino Juro Oshima Masa-aki Ozawa Hideyuki Nawata Shiyoshi Yokoyama Springer US Nature Communications, doi:10.1038/s41467-020-18005-7 10.1038/s41467-020-18005-7 http://dx.doi.org/10.1038/s41467-020-18005-7 journal Nature Communications © 2020, The Author(s) 2041-1723 10.1038/s41467-020-18005-7 springer.com springerlink.com 2010-04-23 True 10.1038/s41467-020-18005-7 springer.com springerlink.com Springer 2020-08-18T16:45:39+02:00 2020-08-14T22:30:31+05:30 2020-08-18T16:45:39+02:00 True iText® 5.3.5 ©2000-2012 1T3XT BVBA (SPRINGER SBM; licensed version) VoR uuid:e96600a0-7032-4bc2-b653-511b67f99c4f uuid:20428d70-ec88-47ca-b4a9-11b5113ac4fb default 1 converted uuid:18d44c4c-593a-4ba8-991f-ee995cc0878e converted to PDF/A-2b pdfToolbox 2020-08-14T22:31:20+05:30 2 B Guo-Wei Lu http://orcid.org/0000-0002-0739-1556 Jianxun Hong http://orcid.org/0000-0003-4707-9679 Shiyoshi Yokoyama http://orcid.org/0000-0002-0434-9950 http://ns.adobe.com/pdf/1.3/ pdf Adobe PDF Schema internal A name object indicating whether the document has been modified to include trapping information Trapped Text http://ns.adobe.com/pdfx/1.3/ pdfx pdfx internal ID of PDF/X standard GTS_PDFXVersion Text internal Conformance level of PDF/X standard GTS_PDFXConformance Text internal Company creating the PDF Company Text internal Date when document was last modified SourceModified Text external Mirrors crossmark:CrosMarkDomains CrossMarkDomains Seq Text internal Mirrors crossmark:DOI doi Text http://ns.adobe.com/xap/1.0/mm/ xmpMM XMP Media Management Schema internal UUID based identifier for specific incarnation of a document InstanceID URI internal The common identifier for all versions and renditions of a document. 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An ORCID is a persistent identifier (a non-proprietary alphanumeric code) to uniquely identify scientific and other academic authors. authorInfo Bag AuthorInformation Specifies the types of author information: name and ORCID of an author. http://springernature.com/ns/xmpExtensions/2.0/authorInfo/ author AuthorInformation Gives the name of an author. name Text Gives the ORCID of an author. orcid URI http://www.niso.org/schemas/jav/1.0/ jav NISO external Values for Journal Article Version are one of the following: AO = Author’s Original SMUR = Submitted Manuscript Under Review AM = Accepted Manuscript P = Proof VoR = Version of Record CVoR = Corrected Version of Record EVoR = Enhanced Version of Record journal_article_version Closed Choice of Text endstream endobj 3 0 obj <> endobj 7 0 obj <>/Rect[176.031 652.819 179.66 660.416]>> endobj 8 0 obj <>/Rect[181.361 652.819 184.989 660.416]>> endobj 9 0 obj <>/Rect[66.841 631.899 70.469 639.496]>> endobj 10 0 obj <>/Rect[212.258 590.06 215.887 597.657]>> endobj 11 0 obj <>/Rect[57.373 527.301 61.002 534.897]>> endobj 12 0 obj <>/Rect[64.913 527.301 68.542 534.897]>> endobj 13 0 obj <>/Rect[170.192 527.301 173.82 534.897]>> endobj 14 0 obj <>/Rect[177.676 527.301 184.989 534.897]>> endobj 15 0 obj <>/Rect[219.402 527.301 226.658 534.897]>> endobj 16 0 obj <>/Rect[230.513 527.301 237.827 534.897]>> endobj 17 0 obj <>/Rect[59.244 516.869 66.501 524.409]>> endobj 18 0 obj <>/Rect[70.413 516.869 77.669 524.409]>> endobj 19 0 obj <>/Rect[141.505 516.869 148.762 524.409]>> endobj 20 0 obj <>/Rect[152.674 516.869 159.931 524.409]>> endobj 21 0 obj <>/Rect[232.838 485.461 240.094 493.058]>> endobj 22 0 obj <>/Rect[244.006 485.461 251.263 493.058]>> endobj 23 0 obj <>/Rect[284.372 433.134 291.685 440.731]>> endobj 24 0 obj <>/Rect[164.183 422.702 171.496 430.299]>> endobj 25 0 obj <>/Rect[173.14 422.702 180.397 430.299]>> endobj 26 0 obj <>/Rect[354.671 705.146 361.984 712.686]>> endobj 27 0 obj <>/Rect[363.628 705.146 370.885 712.686]>> endobj 28 0 obj <>/Rect[372.529 705.146 379.842 712.686]>> endobj 29 0 obj <>/Rect[383.698 705.146 390.954 712.686]>> endobj 30 0 obj <>/Rect[457.512 673.738 464.768 681.335]>> endobj 31 0 obj <>/Rect[336.076 369.751 343.332 377.348]>> endobj 32 0 obj <>/Rect[427.464 366.406 432 375.874]>> endobj 33 0 obj <>/Subtype/Link/F 4/Type/Annot/Border[0 0 0]/AP<>/Rect[436.535 23.528 551.679 30.217]>> endobj 6 0 obj <>/ExtGState<>/ProcSet[/PDF/Text/ImageC]/Font<>/XObject<>/Properties<>>> endobj 4 0 obj <>stream xœí½K�$G’&ˆÁÞò¾w¿,Ù ;Mßj 졊Åzô.›ÕÅœi`É>xFxfDw<²âÁ,æWì¡~Ç\æÿ�|"*ú0w�ˆL&ÙìÆT�d¸šššª¨¨¼EtõçŸÿqw{º{wÿ°½\Ý^¼øüwߘÕÛ»¿~õâóß»2«Wo^øi“}ô“±f5ÑÿûßÞmÂódRX¥ÉoL¶~†Þ»zñùwyuz÷¬îN¯_L«W§ø×û'zùê_1¾“ñç �æ9òèíWL;û0YKcÛ°1“5Éæ€±'î{ûöÅ·'»ÓÝõý埽\Ç9nÒ<Ï9å“ûóÌ&MÍÔžÜßnß¼ü—Wÿ€{ùpÚLa2x�Æzõ›'ÿeœØ&Ødèu+�¿=9Å�vcË�/§“k4M›pr¶½ßâorzsuõp}qº½¿¸¹¾“WhAs !Ÿœo—-w»Ý5Ol�6!%Gƒ§ÕÚÐr3>äÓ»¿¼»¼¹»øžVRÜ̘–÷æäííÍûûsi´eígÜË·oÜßPCœ0ιGjãì®v·ow×§Ün[ûÍJß|½½>{qv¾æ9O2S �8™éùÃõÛÛh‘Þo&�ÀöÝ»K…vÊÓZOîNiæÑuËaèø^oÏ×g»ÅΙ¸1 )çŽm�sF·íúßÅ—rûÒÝýín{uqýV`ofÚÖ9Óg÷aµ;»ØÒ¬ƒ mbáwŸÿ:ü­6WŒ8½¼y8[¿ÞÞíÎÐÝÓæÞ~Á@uÝvœí.i'$ ©(K�EC·ø?\ßïn¯w÷ë›7îWGÓyuN³¾Û¼\;‚°£¾³›©q‡WG»Ý¾»8CSÞäÒGqÅ€u?/®å5,wІÑê¶‚<4�Gì§Büÿ_@Üšâwòa�ËéÍÃõ½Ì7–ïðbHI™Ü»›÷»[j SÃãÝõºìNܸã<{¿�pw÷Ig纈 |ß5à\î¶gØinÔàL87Õ—¶2†æìv{EøzŠNDäP§„0w€²+`s¦�mw%+rñäÍÍ­ŒNv×tª~ØÈúá?ÜË—tv4Ûî(e¤‚xïn óNï™bOÛ¶÷h™6^±ù5p)bžv²XM!J²›w8ÆÝ ï/./©)¤ºàíiÙ&&åS¼BÅv’íô¡K£‚7oŽQ‚÷7·— ³ºÞÝåîôþöâT¶Í5ü<%âðpõŽ+†=48 ºŸ†¨Ý䌟=Q„ˆ<ùhSTÞ°¡9€R81@ÓÊ.6>Í…œŸ|&OºÎk}Áá‹§ÇX“É~3ç+¸Eû”óìö 0p'àèîÍ:¾,ˆ;ÒÞ\>þ:u¼ 4oT† �ĩ㠷ۋ;¥ãÊ"¶M¦@Þín‰ã�D3u"Í<öGÐýùPÐ‡Æ Àex°¾UPÚÇ}”öswVu¢�»0lCɽÑê)÷>U )g}3Òþvœ{óÀ'¶íá»Ý­mÀÊ!=˜¼õI½»çS8� _žáÏÆ‰^ï„bèï¶ßïÎäpk—7·7WüR· Aײrø;‘pl²DƒI¾j‡á�Üü=‰ùÀù þÖr7ÒiS¨Í*<Á7¬!²³ý¤вIe‰fŸXøÇˆÉ:›œ‰ÎĘV!ÏÄý¶¨‘�:ÑßöT>CkÛ×ûsœ@£îôÃý]9•�-&o÷O%ÿýöÂÁ+$!0Qú¶ÛÝŸ.nIÄ¿2¢(Š…ÂßIq«°dÍ€Þչܒ¬º}}qÉÜ:Li!®ÒáUT!>õvMëÕ1Œ¸»¯¹¹¡1³…©œ}7wÒôÍÕ;¢<�ì¶ ÄfÖ‡÷l´Ê±—×/`c™;Ñð= 0ºlϾß^ßoß6ÕcÑÙ¢ ïË$LøC LðCl–ÎÝõöµ¼!6Š&òQœˆ ÞïÞÞnE`ëLyO¦‹–j3� #LlËF?zN®v÷ÛËõ1ÓÏÍ_ˆ˜®ïvWÄ\ÎNï!¨A1j÷‹¯¾þ<ZVU\„Ei`f�ÀIç)Ê›ÎçìV ÉóÜÚ¾¿¹ì`v@šx¸$É`-BOo(«aØ-:µ˜ÈªÍö6RMšØ éÍv»JLœD×û¿ª9äv÷öâêI‘ž$‹ì�eJ+Ÿ‰Ñ:k�wLAöÓPÎò?®(Ò3!BÄäüÆÏÉÞϾmúÐÝɪ…0ö¦‰Öݾ¼ôæææþ)´÷lÎM)ý‚´U Ñu] °çfe…ð´.úW齯»ìŽšéà ¯ÇÆYÜ ¢°ÅΤÕyDã ¢ëŦÔ�ooïÎåµj¹þþ‚p›Õ˜ÏFýqûn{{?ªU¢¹Ú˜†³{ä¸maÃÁÀ4%4c3UCw¸‰qáØkùƒ¢Ùhâ½=nøòkünê_œ‹ìªéýQ—‹h"s²i"sçõé4¨n¡7AÓï¦xo¯oîY‹$d…~s{¿eÓðÔ̸t)þ¥©9^ôÅõ÷»»û‹·ÄÒÏ€²¦YGÿÔ5³ê›ÝîìõöôßÐÚ�ñ»“ßüö×OKÔ‘]±Ä/H,†=($ é�Å,ìãs ó#öq“”î¹' ä„·™(•±�A�$œÔC¬[q‡ÕCnQ ¥�¨^];ÝÝݽy€B¯¦ñf"â.î#ÝÙŽä(³ ˆ�M¶è-J!õG�º5<Ú‚8…¦—›ý^ëHkg‡¢î£é¼¬Ñ†ÎDp#ýõyž`0ká|qÔÅ"²«Áâ�†O-Ž„DȬóŽ×å|#²6à·m:Î7>¸q&¿{½}8ûL\†`ÐLH˜¸d'—oKüºøŸA{•Ô¸æ•<§‰°ñ‚Òî/ð‚²~ïÚ0ÑìÜw£µ¡Y¥ˆ³ÝÜSã¨kæUÍøÓ:Q÷¬¯hÇo/¶—à®ã="BºŽÑ@”t±¬`; 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PowerPoint プレゼンテーション application/postscript 32.583333 17.000000 Picas 1 False False Helvetica-Bold Helvetica Bold Type 1 001.007 False HVB____.PFB; HVB____.PFM Helvetica Helvetica Medium Type 1 001.006 False HV_____.PFB; HV_____.PFM Cyan Magenta Yellow Black Default Swatch Group 0 xmp.iid:9ED3EB9B13D6EA11BBFAA2FF599821D2 xmp.did:9ED3EB9B13D6EA11BBFAA2FF599821D2 xmp.did:7B2546B792D5EA11941BD60549D70FE7 xmp.did:E41087CB78D6EA11B026ED7AD83FDC35 xmp.iid:E41087CB78D6EA11B026ED7AD83FDC35 xmp.did:7B2546B792D5EA11941BD60549D70FE7 saved xmp.iid:7B2546B792D5EA11941BD60549D70FE7 2020-08-03T19:37:50+05:30 Adobe Illustrator CS4 / saved xmp.iid:7D2546B792D5EA11941BD60549D70FE7 2020-08-03T19:43+05:30 Adobe Illustrator CS4 / converted from application/postscript to application/vnd.adobe.illustrator saved xmp.iid:9ED3EB9B13D6EA11BBFAA2FF599821D2 2020-08-04T11:00:29+05:30 Adobe Illustrator CS4 / converted from application/postscript to application/vnd.adobe.illustrator saved xmp.iid:E41087CB78D6EA11B026ED7AD83FDC35 2020-08-04T23:24:43+05:30 Adobe Illustrator CS4 / endstream endobj 241 0 obj <> endobj 235 0 obj <>stream ÿØÿîAdobed€ÿÛ„       ÿÀuÿÄ¢  s!1AQa"q�2‘¡±B#ÁRÑá3bð$r‚ñ%C4S’¢²csÂ5D'“£³6TdtÃÒâ&ƒ „”EF¤´VÓU(òãóÄÔäôeu…•¥µÅÕåõfv†–¦¶ÆÖæö7GWgw‡—§·Ç×ç÷8HXhxˆ˜¨¸ÈØèø)9IYiy‰™©¹ÉÙéù*:JZjzŠšªºÊÚêúm!1AQa"q�‘2¡±ðÁÑá#BRbrñ3$4C‚’S%¢c²ÂsÒ5âDƒT“ &6E'dtU7ò£³Ã()Óã󄔤´ÄÔäôeu…•¥µÅÕåõFVfv†–¦¶ÆÖæöGWgw‡—§·Ç×ç÷8HXhxˆ˜¨¸ÈØèø9IYiy‰™©¹ÉÙéù*:JZjzŠšªºÊÚêúÿÚ ?3ò¾‘ù£ç4y¾=;Î÷ZL>¥$ s‘J»ÉÄ-x… LU•Åù=ùȵ¯æeÆÿñT‡õÉŠ¯ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š°ÿ è_›~l¿ó ¤^»´:é²wei=R9|`r~ÏLU˜Ê¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š°ïËíóoÍ×^`·‹Ï÷vgB¾6.Ì­'ª@'˜ø—�N˜«1ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSaŸ—:/æßœ¤×R?]Ù~†¾k.­'¨V¿ø—�N˜«3ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSa¿—Zæßœ_\H¼ÿwgúù¬_’´ž¡Zücâ^=:b¬ËþUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLU†þ[蟛~s]e¡óõÝ—è›Ö²~jÒz…kñ�‰xü±Veÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*Ã-´_Í¿9Ǭ4>~»²ýzöLZOP¥~1ñ/�1Veÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*Ã-t_Í¿:A«ËŸ®ì¿E_IbÁÕ¤æcý±ñ-+ኳ/ùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1Vùg¢~mùÚËT¹‡Ï÷v#M¾{&WV—™@0y-+^˜«2ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ]ÿ*‡ó‹ÿ.eÇü‰oú©Š»þUçþ\Ë�ùßõSwüªÎ/ü¹—ò%¿ê¦*ïùT?œ_ùs.?äKÕLUßò¨8¿òæ\È–ÿª˜«¿åPþqå̸ÿ‘-ÿU1WÊ¡üâÿË™qÿ"[þªb®ÿ•CùÅÿ—2ãþD·ýTÅ\(8éÿ“2ãþD·ýTÅTäßç ÿÊ̸Ûîåÿª˜ªeÿ8Ù­ëÚ¯•µ†Öµ µ+›]R[tžv.ÁR4ØW ­N*õÜUØ«Æ? 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