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Expressþÿ þÿ26þÿ, 25814 25826 \(2018\).þÿ\r:2521)/F 4/H/N/Rect[537.406 433.207 542.611 420.661]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 614 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream H‰0 endstream endobj 615 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿ þÿþÿ29.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿZheng, Y. et al. High-quality factor, high-confinement microring \nresonators \ in 4H-silicon carbide-on-insulator. þÿOpt. Expressþÿ þÿ27þÿ, 13053 13060 \(2019\).þÿ\r:2522)/F 4/H/N/Rect[545.431 433.207 550.636 420.661]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 616 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream H‰0 endstream endobj 617 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ28.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿCardenas, J. et al. Optical nonlinearities in high-confinement silicon carbide\ waveguides. þÿOpt. 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Expressþÿ þÿ27þÿ, 13053 13060 \(2019\).þÿ\r:2524)/F 4/H/N/Rect[348.196 391.207 353.401 378.661]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 620 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream H‰0 endstream endobj 621 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿColour centres and photonics in 4H-SiCOI.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Photoluminescence spect\ ra of colour centres in pillars fabricated in 4H-SiCOI; h-þÿþÿþÿþÿþÿÿüþÿþÿþÿ \(V1 2/V1, red\) and k-þÿþÿþÿþÿþÿÿüþÿþÿþÿ \(V2, blue\) show narrow linew\ idths and low-intensity phonon sideb:2525)/F 4/H/N/Rect[495.535 170.707 500.027 158.161]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 622 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream H‰0 endstream endobj 623 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ32.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿRadulaski, M. et al. 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High-fidelity spin and optical control of single silicon vacan\ cy centres in silicon carbide. þÿNat. Commun.þÿ þÿ10þÿ, 1954 \(2019\).þÿ\r:2528)/F 4/H/N/Rect[475.574 97.2068 478.193 84.5371]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 628 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream H‰0 endstream endobj 629 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ10.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿBanks, H. B. et al. Resonant optical spin initialization and readout of single\ silicon vacancies in 4H-SiC. þÿPhys. Rev. Appl.þÿ þÿ11þÿ, 024013 \(2019\).þÿ\r:2529)/F 4/H/N/Rect[479.445 97.2068 484.683 84.5371]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 630 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream H‰0 endstream endobj 631 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ12.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿDong, W., Doherty, M. W. & Economou, S. E. Spin polarization through intersyst\ em crossing in the silicon vacancy of silicon carbide. þÿPhys. Rev. 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Quantum properties of dichroic silicon vacancies in silicon car\ bide. þÿPhys. Rev. Appl.þÿ þÿ9þÿ, 034022 \(2018\).þÿ\r:2531)/F 4/H/N/Rect[70.6146 443.706 73.2333 431.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 4 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿ þÿþÿ10.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿBanks, H. B. et al. Resonant optical spin initialization and readout of singl\ e silicon vacancies in 4H-SiC. þÿPhys. Rev. Appl.þÿ þÿ11þÿ, 024013 \(2019\).þÿ\r:2532)/F 4/H/N/Rect[74.4858 443.706 79.7233 431.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 5 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿ þÿþÿ32.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿRadulaski, M. et al. Scalable quantum photonics with single color centers in \ silicon carbide. þÿNano Lett.þÿ þÿ17þÿ, 1782 1786 \(2017\).þÿ\r:2533)/F 4/H/N/Rect[167.211 307.206 172.448 294.66]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 6 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿColour centres and photonics in 4H-SiCOI.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Photoluminescence spe\ ctra of colour centres in pillars fabricated in 4H-SiCOI; h-þÿþÿþÿþÿþÿÿüþÿþÿþÿ \(V1 2/V1, red\) and k-þÿþÿþÿþÿþÿÿüþÿþÿþÿ \(V2, blue\) show narrow lin\ ewidths and low-intensity phonon sid:2534)/F 4/H/N/Rect[267.18 286.206 271.681 273.66]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 7 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿColour centres and photonics in 4H-SiCOI.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Photoluminescence sp\ ectra of colour centres in pillars fabricated in 4H-SiCOI; h-þÿþÿþÿþÿþÿÿüþÿþÿþÿ \(V1 2/V1, red\) and k-þÿþÿþÿþÿþÿÿüþÿþÿþÿ \(V2, blue\) show narrow li\ newidths and low-intensity phonon si:2535)/F 4/H/N/Rect[214.89 254.706 219.391 242.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 8 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿ þÿþÿ28.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿCardenas, J. et al. 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USAþÿ þÿ114þÿ, 4060 4065 \(2017\).þÿ\r\ :2543)/F 4/H/N/Rect[487.687 338.706 492.957 326.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 16 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿ þÿþÿ16.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿKraus, H. et al. Three-dimensional proton beam writing of optically active co\ herent vacancy spins in silicon carbide. þÿNano Lett.þÿ þÿ17þÿ, 2865 2870 \(2017\).þÿ\r:2544)/F 4/H/N/Rect[442.631 296.706 447.901 284.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 17 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿ þÿþÿ8.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿNagy, R. et al. High-fidelity spin and optical control of single silicon vaca\ ncy centres in silicon carbide. þÿNat. Commun.þÿ þÿ10þÿ, 1954 \(2019\).þÿ\r:2545)/F 4/H/N/Rect[373.274 275.706 375.909 263.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 18 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿ þÿþÿ10.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿBanks, H. B. et al. Resonant optical spin initialization and readout of sing\ le silicon vacancies in 4H-SiC. þÿPhys. Rev. Appl.þÿ þÿ11þÿ, 024013 \(2019\).þÿ\r:2546)/F 4/H/N/Rect[377.178 275.706 382.448 263.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 19 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ11.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿEconomou, S. E. & Dev, P. Spin photon entanglement interfaces in silicon carbi\ de defect centers. þÿNanotechnologyþÿ þÿ27þÿ, 504001 \(2016\).þÿ\r:2547)/F 4/H/N/Rect[383.717 275.706 388.987 263.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 20 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿLight matter interaction of a single colour centre with a nanophotonic res\ onator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of a suspended nanobeam array \(top\) and enlarged image of the devices from above \(bottom\). þÿbþÿ, Sta\ cked spectra obtained while tuning a:2548)/F 4/H/N/Rect[493.45 160.206 497.97 147.66]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 21 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿLight matter interaction of a single colour centre with a nanophotonic re\ sonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of a suspended nanobeam array \(top\) and enlarged image of the devices from above \(bottom\). þÿbþÿ, St\ acked spectra obtained while tuning :2549)/F 4/H/N/Rect[538.853 97.2059 543.372 84.6602]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 22 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿLight matter interaction of a single colour centre with a nanophotonic r\ esonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of a suspended nanobeam array \(top\) and enlarged image of the devices from above \(bottom\). þÿbþÿ, S\ tacked spectra obtained while tuning:2550)/F 4/H/N/Rect[405.36 76.2059 409.88 63.6602]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 23 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[201.355 33.864 297.826 25.1497]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 24 0 obj <>/ExtGState<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text]/Properties<>/XObject<>>> endobj 25 0 obj <>stream xœµ}{s#G’ŸþæGðí£ÿƒž®WWµ}qÒHº•}:i=´.l�Ã�0d[È%H�F±á�¡�k;3ëÑYÕ�׌¬�•H°Q�¬¬Ì_>»úÛÕË~ÝT7û«—_o›êËû«¿^}q}õò|¸Ú_5þo¿Ú �]‹ÿÙT¢º~wU7�ª®Wð_ÛV×ﯺZ5ø�¤/ ¿iYѵ]'*mÛÚ4N6�”ÕõöêÇÙû¹›mçBÍ6ÕÃ|Ñá/‹vönÞÍîçBÎè·í\×MGÿÌ6ó…™­«å\tµ ”›=UËêiÞÎ6Ûìã0 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tunin:2551)/F 4/H/N/Rect[95.8962 244.206 100.416 231.66]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 142 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ36.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿPelc, J. S. et al. Long-wavelength-pumped upconversion single-photon detector \ at 1,550 nm: performance and noise analysis. þÿOpt. Expressþÿ þÿ19þÿ, 21445 21456 \(2011\).þÿ\r:2552)/F 4/H/N/Rect[162.9 55.2059 168.105 42.6602]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 143 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ37.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿRivoire, K. et al. Fast quantum dot single photon source triggered at telecomm\ unications wavelength. þÿAppl. Phys. Lett.þÿ þÿ98þÿ, 083105 \(2011\).þÿ\r:2553)/F 4/H/N/Rect[389.549 265.206 394.754 252.66]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 144 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ38.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿDietrich, C. P., Fiore, A., Thompson, M. G., Kamp, M. & Höfling, S. GaAs integ\ rated quantum photonics: towards compact and multi-functional quantum photonic integrated circuits. þÿPhoton. Rev.þÿ þÿ10þÿ, 870 894\ \(2016\).þÿ\r:2554)/F 4/H/N/Rect[463.379 254.706 468.584 242.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 145 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ39.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿMcCutcheon, M. W., Chang, D. E., Zhang, Y., Lukin, M. D. & Lon\rar, M. Broadban\ d frequency conversion and shaping of single photons emitted from a nonlinear cavity. þÿOpt. Expressþÿ þÿ17þÿ, 22689 22703 \(2009\).þ\ ÿ\r:2555)/F 4/H/N/Rect[517.44 223.206 522.645 210.66]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 146 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿEfficient second-order frequency conversion in microring resonators.þÿþÿ þÿþÿþÿ\ aþÿ, SEM image of a ring resonator designed for SHG. The fundamental TEþÿ00þÿ mode at 1,555 nm is converted to a TMþÿ20þÿ mode at 777\ .5 nm, and coupled out via a singl:2556)/F 4/H/N/Rect[426.446 191.827 430.91 179.16]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 147 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ40.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿWang, S. et al. 4H-SiC: a new nonlinear material for midinfrared lasers. þÿPhot\ on. Rev.þÿ þÿ7þÿ, 831 838 \(2013\).þÿ\r:2557)/F 4/H/N/Rect[497.627 118.206 502.832 105.66]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 148 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿEfficient second-order frequency conversion in microring resonators.þÿþÿ þÿþÿþ\ ÿaþÿ, SEM image of a ring resonator designed for SHG. The fundamental TEþÿ00þÿ mode at 1,555 nm is converted to a TMþÿ20þÿ mode at 77\ 7.5 nm, and coupled out via a sing:2558)/F 4/H/N/Rect[538.23 87.3196 542.693 73.2767]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 149 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ41.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿDory, C. et al. Inverse-designed diamond photonics. þÿNat. Commun.þÿ þÿ10þÿ, 3309 \ \(2019\).þÿ\r:2559)/F 4/H/N/Rect[431.71 55.2059 436.915 42.6602]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 150 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[456.297 33.864 552.756 25.1497]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 151 0 obj <>/ExtGState<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text/ImageC]/Properties<>/XObject<>>> endobj 152 0 obj <>stream xœì½YÏ$Éq ø^aWš|üjÀ ú}`h¨cF€ l@âbQ¬®&k¦ª»)Žôãw×<.7w7÷ðˆÌªj¥·µ¾ŒÊŒ;Üîãö/¯~ù7¿f·ßýðê—ý »ýåw¯þñÕûâÕ/ßýðŠÝÂÿþðîÛøµ/øÿÃnüöÅW¯&ÆÌí‹w¯&ÎÝí‹?½ò“dáÄü£øI‰Iso¼ç7É=üÊ æ…¸}ñÍ«~ùêõÎ^¾ÍåËw¯¹xùæöãë7æå÷¯ÕËûÛ×¾zí_ÞÃ5ùùnüåÃ7ó?Í¿x�ÿáËðó?¾{ýƾÀôˇù~ßN·¿¸ý?âþå�áòׯßÈ—·ðqâó¥K¾~›ÿßWø-à–b üÒN·ÿ1üå_ñ?}¿ü1Üþßn–�_ûðþµšØüÉ¿|ýåkùòÃòœo_›—Ûëÿû‹¿d�ÈnoøÄÅüSuûâ/Eoß›|¹¾ÛŒ±¯V üðú�{Yï%÷¯¾{ûÍËüO ŠÞß~ýš+À|ý¯9‡ÿØ—¯ßÏý6`h†:Üä{ÌEþíö?^sóòm Çü°ïÿy½`2Aào^ß~xùÇß…oþîµ ¯ª_~üaÆìŽŒß¿–ûßë­ôþÛ 3JÌ|ñŸˆ,Ö76áÝÝËýpÞè÷ F¾A4X¡½}˜Iþý»€Žo ½¿…Û~w{ ´7ëm6Âã¢È@áe›Ìèp�+äÌ ‹…÷z÷Ýk³ƒ÷5&Í×ïÿ›!fáT±Ö‘ÎMRXÍ•Q7á]r¨^Þ¼þâ¢Óé|çéÎN:9�ÉÉx=é—÷+÷¥ìýîÃûÇðoæåß^[ù2Íßþâ÷˱$ÿb¾ðv9� ¡BΈŸ¹dÇÅïçï"R‡�_8ðO�‘¾Ÿ/üÞaýõr:ÂEôªÛï#ÑçËÿðÇù༃#(^g?ƒ\È�Ó¾z»Š³r|v¦+"ëQ_V† ¯ dÿööåJÜ�AþíöýÛ�ygQÀã�¿Z^æ¯@ ÿÃ×oß½ÿòþò¯ùw¿b·ÿö—¿zõ/¯¸ç“àÂ{«äMX9iigVÝà&J8À Ò7à=eEÀ¦¸}ÿþÕ?½ú6ˆu�àA�óM�óE�c~FýÝÊ$Û§õ¡Ö{fá¡vbš3gÔÂoÿ)ð›™”ÓfþÝú'÷v2V[¦¼†éÉHé9çrþÑŸÿYø¼Jã¡jVR¼)Œsþ%üþÿ ?$ýÕßýjÕY‰f’ ï ÓüHFÓƒ¯ô\O:¼°´v¡‡‡iáðI1Y¥/gzp5S¸AÑK�õ¡’Y /Mxߤž!óg”„‚MÎqéåÌbáþÓB9¸ÿ}À‡—QËËTÁ”j’ÀÞñ ”"ÿ8ž)¸Ç_® t´Õr!9hW&xx=éÿ(Øèœé³HŒ*ƒ)�Ó°'µ&ìXryeà�¯‘¬ùcj�$Bë ÜÓ†wx#@ßHì‘_£J±WS’™rüâîga7 ]…ÞÄÁ¬Ð,ˆ¶ÅÔšçí÷RÁîþ=2MôI“ăvA€K¿‹ëöÉtû§×Þ“ÿ5ÑáóO>,úíÃün_näÙn“Y…¹ºß´ü‚¸³VZ€\îF üÃlK€¡ñüuJ÷fàomZªŸ™&wbÕ¯tPýÜK8£3oþ.h¿¯ßßÞ³‚h™õÕ÷·ß\B«Y À Ì,ö&Zo�Ý?ü£îGÌÎA£÷&P}·v�ûíííb@Ì/.¾AfØ»HéÕPѺOhþ Z„‹M„qÜ1ÎH1GÇ‚„°AÕÉÉ)æ%¨JÀ�T³|©KpÝ-ÁçgZP< ¹gìK˼âüX‚› nY8<3> !/�õ6•›v¹O¼°ÞøåÏ£|¿ŽtÃ*¬›Œ6΃P?ÀA¸›;¸›“^i¼•»}t˜œ™æ3Å<ÓŸo* áÿM°ýf1$±=ë¥?¿¤—ê2ÃÃQ·žKWžuPC©ÔàjÑ'tû|Ly©OÀÇÛìnæ‚ô×AàÏæÿlPƒvÕt °¾Þ-¼}dßáÊ_ÄYgëaÑëÿ ÝÀ;c·Ó¢R2¿uÍ‹Œ�ÝÏ ¢å¾ ßÔ·[d 8¼ùíîdÌZm“Ùi áöïï—ßɳHÇèZÈEIG` ”~‰˜Ûü¨¿Èc ³0\T$T¿Ä’dòmv»öw\ÝvçÍ¿l 68Â[ƒþ×àb­wÞ¢, ÂÞÕ-ÿÞsÿßlyïT«¿Ž.þŽ€Z|ã¤p*±°½ø|«`ý¬*™Ô ¹Z@\Æ‚Ï:¼™URèà^ëDH—^ðg<-8±š z�ƒ÷Ú­8;V Ükpƒ�Ó ¸�¡8Ï5Ãvk¤î@¾cUŽ2]�È’Nà¿rývà‹2Ð4à”–·{8Tà·®¢Hñ}j¹t6«&*ÞðÏNC,‚õåÁ‰ö#ýùNY�iý½8uN¹UOÓ€Î^›š[=µ¨K·ÿœ¿&›Á0¡BHP•𢳊4ÿ¿ÌþnðÛpë,0µí‰—]á;ßÀ×;TϪô”¥‡ÝjС3T»ÊÜÔv|Ðíëh°¼ùòÃêpíªq�ù/ÜùÍâ�û!O\¤¯¸cx1¢ðMõÙ‡e<:`Xk‚yÆw÷{CàÆ°_!躾X¸ütÃùí {kËÛü÷×B¿Ä¨ïªÄ�ÝÈ4†ž5ÇÀ›|“Üõûå½Ü ⑹Pìz¾ÃŸVÞ´,��¡å¯6ØYÍšùáÃl_|Xâ…ñ¶2áš¼YC_ØDÀŽâ¾㿀㴜¼_ÿáí·ÿå¿üò/ÞýøÇ·_ñþÿøòÿþ·ßüøú¿þ×`·¼ÌÖ|��p¤•ÔˆÍtþöDrþ ­OÞ2¸N|1çã?¬òðûˆÒˆßnxžŸ·¦ÇÀÏø{3K³`kUŠÉ?ÍtœcFÛM;GÖþa“óaˆ òýlOÛY:,™?”o¹%ÖïQa ­™5Ѿ|ƒN[š9‚ÍÒ#^K Üç]<€„ØNŸ£ÿ›ø¿­1¦-éÅ+ ¶ Ê�1¾¿ýi�B­†ùœ ûÝ�Y¿|?ݾøýÂn‹^ }ïfýÇWK’«··IãË÷[¢ôËÔ-øn1áçÓŽB‰›@dÂ÷È ”žº|59¨«&~-äòðï‘ËñÃ&…óò�pë¿þxûÙš}¸%C´ý„Eðû÷Lçk»2ׄ˟pp/„4Ñ‘ YÍïO8+•ÊVù~ÉØ†j`²-Ø@ËÌæs�qŽš-‚D½ü¯[Fí=^¹")*ÏÄãÛ2Ÿ³·¤¡‚hDŠïý÷HmD·7$J?|­�žP¥wKn‘¨4¢ÓppkŽ“›­nÀobaå±ùÄcXž³œ$ ±°üúôí¢*3Ímƒ`ÏmÌÐR�ød|Ò28µùÅœ8ÝýÝüò7ôÃðäÕ²ZNÈ~Ž»ƒ5rÛTt ³Bû÷÷‰¦¥gµT•›Äœ¸S7+'#æ„$ØÔ�«dp˜�߬™œT»EÛðšæ'q ¼¡oÖ†h<ÖwäÁ¸F·'"¨à뀻(™‚Ž…ªñÖñÌS6…§¬Ë êllAB~oÔŽ‹_Jˆ› Wð^ÜêÑ_ "n¬X=Õ†O ëíÂ]8EŠÕö–DÆ•<Û éùËEZÏAö¿yûá”þpŸ—¡”A…CŠM¯JÜ«Åã‘6¯%°Mö*”δE1Õ?¿ü_7TâàP¹Œ<ÇBñ]`½_ëÄ_öXYŠì5AÙàw·5üðf/p›�¨~ì.ïe$]%ñ­b@…£€p�buítõïöJ‰5ßrÑ”‘“´àOç7øÃÚZ84bq§¥+,/Ù”; ,/퀄DéÚš:XÔïR,2Ÿ—Ûáñ™�”bÁ:·¸ቦD;Š¥˜ÍM,«4oÅaŒ‡+?”Ǻ«qÎzP&«i6X’´ˆã^Ú±¹†ñY_¾ùnç›/ß1xýËÈ¢™1A¹=®â{ÁÌG48Ÿ«ÆE Z"ÎV”îÛÜsŸó|[”CR <ö»Äz[°°*¥hÐVñ¥Û�Z§§}¿5�¦Öà1²Å·Ê¬ Gç¶vdõ\âù’s¥KެO�lÕÊb2JY«U‘O™æðvÜà›sõrˆƒÇm9Ð+O™9.PrÈ ¨ù£áCÅ|OdñHÃoQLåË7iÇ’Ã !ȸ�¯bef›Ù†ù¾–(æK€ëMh³p ™ ü&TJ @üço~óú6Ç»ã�¦öìØ`YŒ(à“?Åèï�E¼jï®™í\=¶VzáXÂÊöe?²3ßlÂ1µppñ¨¤·è4Î2f7¼bQÃZ6õò�[Hf�¥€†Ð³bÿç—Û7ÞÅŠ¾E/Ï äV±¦ÕórªbñOÀù…®ÚÞäm(-ÿâµw+2÷lèÒð·ÅûÂßï—„hä—ÈÐ?|˜¥ÿž²Ù³í®–GÂE€VƒÖíâtNy”M�Q‹Œ\Þ«Wµðì&ÏGd+ @%Þïö²�ýLlqS$Зû¯±ÍYºõz'’‡`yV3ÃUºÃ9‘ž…ÚÃ3#!Kã¤= »2ÞK!”¾»zaŠ=e”çÓ0^ÊDÔÞæ†K?¬8W«4q±�ííz:+1ºKbóË¥f‚RÙ(£]TH,¯Ë(Zé¨×¡=q ´7ÿ<É-aÏêßß­TØØ¬acÍø¤ÀUw¸D…16²�p2Ô¬­QcïBÔXêVçëˆ/�sÂ+êß8XHð¿Zdå“b-€+“Jš™IÂ/à·À’*TÖyë•ä(ðÜêˆÓLMÊ€+`¦€¥¹aÞ±Åg¿|Ö€ 7°¡Õk)9$35¼ñ=ìè65®\èBt„Õ�åoæ–Ù7s¨ÙlÓ3[0¶¤Úª.•Í(7wrÉ2FXÌ�Ù7Ž…Cú\á�œœÓdÒ"ްo,�jõÖ9Õ‘²–ðf61U`Å$™è¯ì¬†ìÁ�@Û´÷jõW) lûwÄez¡W€]ÌÁ"…÷Ò+X@ „ù.&sx"emȽž£j(Þu³�´Svºýõ‡oc`áÍRƒ�ãl›1±õ'˜Ù|p½Ö‡é�s `hªŒ6ëШu,›!>lÂ"–?aw,”o½»ýTžz‰-“É)ÿêt£K;ùÈ»3‚š©…q^€œå¡Vç®ËÂ^+þªg„‰ÉIn�]Å|š»Â²5àêÃ÷¯…zyÌŒ%”±›¤ZnµÎjÄžÛ.ÕoYËPkÌ›-‰v›awoW‰)�P†ØúæÚ–ù¿oUjë{MÜ£Ù|ú°ùÛ»V1©¾¸çEoc©QÁ�ûg~HP^$ù7×!¼ä¤XÂr›e/ÏrÍ<1E‡Îî/Ò‡Ÿ“µi…ÖVà%úEm^J²À¾Ú©›Åˆ†D¬ ksô Bà pº*ömã|ûešœûcåòÕMœŸ³µ(�åÉC%¢f󇥉ý?ežï†Ñ ju^#¿]ub_~\×p­Jhzè5pK(bJkt–îA1—oøæ$ „Üy¥Î¡ßm®kÜ¢k·EÁËm RÌ¥-”»Œ£>ßmQ•å? 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The fundamental TEþÿ00þÿ mode at 1,555 nm is converted to a TMþÿ20þÿ mode at 7\ 77.5 nm, and coupled out via a sin:2560)/F 4/H/N/Rect[111.135 464.707 115.599 452.161]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 264 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿEfficient second-order frequency conversion in microring resonators.þÿþÿ þ\ ÿþÿþÿaþÿ, SEM image of a ring resonator designed for SHG. The fundamental TEþÿ00þÿ mode at 1,555 nm is converted to a TMþÿ20þÿ mode at \ 777.5 nm, and coupled out via a si:2561)/F 4/H/N/Rect[152.903 380.707 157.367 368.161]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 265 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿþÿ þÿþÿ41.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿDory, C. et al. Inverse-designed diamond photonics. þÿNat. 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V. & Astakhov, G. V. Optically detected spin-\nmechanical reso\ nance in silicon carbide membranes. þÿPhys. Rev. Bþÿ þÿ100þÿ, 094104 \(2019\).þÿ\r:2565)/F 4/H/N/Rect[505.411 65.7068 510.616 53.1611]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 269 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿSpringerNature_NatPhoto_556.indd:þÿ þÿþÿ43.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿWhiteley, S. J. et al. Spin phonon interactions in silicon carbide addressed b\ y Gaussian acoustics. þÿNat. Phys.þÿ þÿ15þÿ, 490 495 \(2019\).þÿ\r:2566)/F 4/H/N/Rect[511.852 65.7068 517.057 53.1611]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 270 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[201.355 33.864 297.826 25.1497]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 271 0 obj <>/ExtGState<>/Font<>/ProcSet[/PDF/Text/ImageC/ImageI]/Properties<>/XObject<>>> endobj 272 0 obj <>stream xœí}m“ã6v®?÷OHn6ü’*ikDï`*•*{ìz×m‘�ƒƒó~Àêû«?}ÞT¯Wþf×TŸÜ^}uõñ‹«ŸÒÍÕ᪩ð¿Ãjß7{!þ£©DõâÕU-½©^¼¹jkÕàÉ�û+-k#ZÛ¶¢ÒÆÔ¦i…7¾z±»úföf9~öÃÜÏÖs=Û®÷ôëõq¾0uËo‹ÙMõíì7›×ó…šÕÕüÿ½øOUµ²¥|U[ÁMƒ×�™š¿øÏ æà7³å·óºú˜Æx[íh¼õ|agËy;ð‡êv.äìU…ág÷ÝíÝf®f‡¹™6Ü`Ÿ^ía\Æ÷s¡fk~¾Ÿ‹vv<�u£<@hª…¨…ô€]W/>!˜Žâ†ß¤þÅì�æj³éÏkÛLFxWsË·Íì%·Çày« §¯6×knºdpòfa\€Ê è˜ÅÝ|ák†°µ‚':[ÍnÆxÙÌ]è:ïêz}À Â͵à;j¸È4üûMè�·±ˆzñkBM¶F‚ç Ý!èºÚÞbèå5CzºyŠ@ž�$¾IäDÇùfV½"Œf?zy¡ïéGGÜë3âˆßm—«õõï>ù͇_­êÈ j³@\ÇŒ°ãûXÛÍ.°Æ/à¾G È,…ûþÝ~†?ŸVëWD@ý´^1‹lV›@0te‰ôÙ'ÊŠO'ø+ i 0_Tt%»Nçx¼.°ø·yÄÔÃm„…éiiqš–N.|\Èœ¯U?@Õ‹‰#Èí.]öDZ“'B£Cï y3‘´ÌÄxNÚ"[½iïá:CìâÝìƒöèfZå�¦w¦™²½TPè¦cßNX•kжN"œ`¬–…“z·�9ŠŸ ûÞz „¢f9Å2Í€y¢žŽ¼PrÏ�oÐy²éçÀ(ÎÙ°Çè±Ü¨8¼El³BŒ©7O±0óÈ!žE“Îe"TØ ¹l›¶oU²o­!÷nŒS•’– 7Ñ �P;gh ̲ ”;cߊæ+އ"³]’Ó¡`:Cþ—³Á¸,]·Qçâ‘Î�¯­¶”8î;® ÄšH1Ü`8÷ÞÞ{àƒ8¬!?�ÜVÙA³WdG)r'‰9Fnyè¸Ùꇜ7ÛŽºùÛ_bÉm}|9I*´4†â!H,X‚M8Á üÍÏ2»OJ òù͘ì–7Au·º1ž'ÂôŸ\ð4¾´ÒŸBÞîWÛr÷‡j¹¿®nŽÛÛÛﺘi"qiD_¶¾oAE~ª÷#ú{_ˆšdÅZøÁ¶³ƒ²KršTv¯ðàØÎMçêæj!3a¢I¯ҟ-žÓÓÍÓhEE©×FË›ôMPPIåkÛ©ühc�½Ï6n&7 ;<‹¾‘”Jã.ÊsÜÚ‘ºšßù{9^MITròƒE¿ì4_ˆÜõÓÈû:;{¬›ò×óÖ�—a³ïÞî½F7«¡!ÕcÆå—4«Ï«LYvc,P–ŸdpK`XY5i™Im©¸0}»>$;¦5'tÓ6˜‹í-£�a¸ 4—%`m <Û'ç‰3§ÉþILñ„^jº› ¼àâj/཈Ú�Mvj.ë2Q•è>‘avïžÖ*’Lžüزûí1d;ÝW«õ`õAôî>û6QÛ4êVåb ×CñCþ(qŽ"Õߥ5“øé¹ó\4¡ïUäÖHA3Œ ñÝfÕ/Qh*¥Æˆâòe�¥Š2f?c`ñš†ÇÑ”y'{TjN¡’æ‰S6H‘`—Šle ²»¾‰Fzgü™ä·UrFŠ�E”"°'ƒˆ‡üŽ˜Ð³ïFÖ\.±ˆáÑæ6{tÏBH„XæQË$bôײ˜Edšwe¾!Ó-«�‘öHÊ’2}f%£ÛjÊÝÉlÓBꯣ‡<ç°DcF¹Óôޤ"õ©š.VîB(¥§à}¿6Œ„Ad'ÊÑéúCî¢õ¬/1¼³‹~ßcZ 'º=:dw ÷8« €å¼_²}’8•¦#™mÿ:rýªWÕ´ ›ë\t0¹vÌž¤kŒ�DçlQ8öY&nôaq»¹^DRµÙ ‹HN=¾X–… /^rÚ›e~ ‚]�¬Œw#˜FML{iTL´j@0‰Øá2žT‡'§ó ¯ðó¡0±‹ÔWpQ“yBøz=¥€Ù¾DÃÇd2Úœ1Ò"0½Ø^˜¡àd¯9ØT²�›�— ÿ>7ª3Þ¢¨&sS`ÂÓª(AšTX/¦J¿èù”[ï¯?I¬3ô¯uô¯‰”�Š «Až<—Y·ÔU[‹ÑÉ¥²öÞš<ë`_’ü zAN¹CžˆQ+¿,zÙ¿ê¼%“gq:¯/Ž�œ$#æl*¥w‘Î3U+j«œóÖÛSÎUs•°L" òU!‹ÐbÆ©½,sV+_� î ÁOè§.EÑU0÷•¾Øí”˜�Zö\àP3¡1éÃÑcòÊ ¯¥gýÌ{AÔGAÅ}æ ‰Õ^„Çr)Î/qv•‹¨6Ѩ÷ÀðÉÔ-pð•Ÿß-÷ÿôO~´:>,·/Ö?gÿý?Õ·Çù?ÿ3Ø ,1ȆI,O„xÔƒ ¨�%1‹T\Àùcܨ[õžã“IÐòrùÓŸèÓ„Bij­ñ‚™H=—1ÿÒîIŠi"Íóm¦³Þ=êy.â9í2‡Ðgg5œˆ!Gmú´¡¤ßŒ ü’w‹[¤¯ôÛ¥â‚ïI¯·~˜w <¼�'ÛÐQ\wæèELÞ«žÎ/“yyîS™Ç¬á±¤Ñ—> öþ ñ6-[’œ$¢øsždh¨VÑ¢Ì�Ì[;E‚˜ÈWZT­4…uiV(ˆ"•ä€O'ÆtãæejÚdFêfl¤ }ƒ"‘·Ù/â’q»]2SG6Ö!ÚÝûd$D#Óô šæéÃä:ë kD͸vGS¼Ü£þ\Ïi§BQ� ÆÄÜ…Ú'‚q™/¸¼F™i¦‘x‚fö:¦™Ë´QŒ$ý=9a¤çFô w=úLEŠÀFé”> Ù ¹ŸÚ=V¸ˆyˆ2,š)›U9ÑA2Œ9íÇ‘£õnë§ þK# ÞÝìÞ0³Ë»(BK§ éçCæó–|f~çÛ…Ë`d%ÅoçÙ²ÝWɢйçå:ž¯Ã¸.‹ùämzÕ±KvÏw ÚqÆx‘ò‚ôׇ¢/tñ8›L¼ŒÊTô"d›9‚à~Øÿ×Ö¬µªØm^=Îá–HÝïD>ÎM.MŽZ7  A˜î‚x'› ~Ø—Ž)–£�f°Ä©¸¨LD<¬6Éf>ý¶£>Š�3¦2õ¨`è|õâ»Ã ƒ›\‡Ùéé|EÇ”ô*:ÆÑBÏø&Ú!­Ò¯û€FÈêaù–!QÎ…!æ¤kFæ�~†P™Ïç“;šQb¾œ³Ý±Ì]ËäHsíM¬‰°ÇcžøéPsŠ2lOÐÐfô¼sÂÌJ#®H&?"„§Gt²˜BiEŽ)©>P+Éìd©+I¤¢’°µd´ëÚ:x†MgmsÀ [ ôUçGEi7ò™ª"GdÂï &W›r}¹ß‡XÒÓ›ÅQ¨GSæõÃ}§"Göbú]ÂDš(ä‚5ëÎÎ Êž!vyjñð¤Æÿâ‹lµ¹”r•‹ŒCH™È¸ËràydAH‘õ (“Oª_ü:°+ôYöuYAþáŒ$L‹Jï±ôSy�Ý -ªC\½¸¼Õ¾�±†¯Ù kúw’’ÑÝhóAÝä"îœu0ÔÞ‡ºz‡"ÛÛ0Ôã]`0ä� ЏÂKÁý`EuZ=¤W�êj6Holõb]"[ç®n,²°9{„Q4dàFVlN˜†©ý¤úeÌnhR¥xN–¾èá8åÝdkÚW¿F2Ïdåu´ìûñ:¼„=2VÑÉ$dïþÎÉN¯¹†`?æäÁ€¯Šºƒ±ÿ‘kþ"„ÏÜ×y1EC_ -¸<1±Af€Œ=¸“U D|\2™› –Nêaédð›ÂˆyÜ~ƃlnŠ”õ™èÉBÄ/îl;Ó>ßO&[ÒZ·IO º.æÖNåx/ú}~yx+Äl[CtÜé7Ø(‘„Ét|1e}2¹M†¾M }k©joŒðùë:dëpsõüÏKùðEœÆÁ%–d‰Téx öi”Û&!ÚºÐ%Ï;Œ“Ýe¤;2¿”‚$¼¢=ÞMx�—ħGˆŒÁ½ˆ~ ž@(ñ’ö#„Æ%*ŠŸf„ÐpwŒÐpˆÐÐñ#mY\¶ýöèЭ£§D·ŽðH“�è½0è0G‡ Vƒ+YºÅMïKîN7‡ØH÷i¢]Ð fýfw#6ÒåòrÌ<*?¿;dëtÿ$uý+“Â.C‹7È·‘ch�¬Õ�­jÜ-Œ‘&a„lWôZ $Ý‹øÈîÜ‚®.c”�¨+ðÔ›“r¾=A “-µ…ci�§yZÒúÚzK‚R&ݰǣOkúNHfš^7#ˆKòO½>Bþ2‘×á¥rò´²—ç¤Â_q2A(Fpžü$vA$’,¦Ñ~¬OC/4’èôi†•ᯞG2|è–¹¥4Kâ͈�xÅ€ëœK2[(ã’ÎêáÊï7©£i‚øKšûháy˜¶ )ÆÊ6ª¶Âç„°ƒbJ&r¹Øù¥`ä*_WJG5bè0»‘¦/™…•õu©Áœ2FCŸÓtðŒŠY([[§�PBU¦åÓ݌îÀ“öuϹ}­;Ùy�}�3Gg^ŸfކS“°Ý�žßòIº‰=ùW¤L‘Šô5+ù̯iù1ã´a¥-½° ¹2�w‡I÷^XûîØØ›‰ÑÜ+Åha]þ¯rþ"QŸÇnPoL¸wžf/`Õµ^r긇)d�{[kÞs"õ÷‘— Éiì¿2’†Rµl9ꜩC÷,MM·Õö 'ø1.È¢@æ^ÉKLí5¸KHäÁ¥ øÚ^I‘SK­p¸$Ysxbù¼>ÄÕ+Á‡Ô¶|�ßöJ‰~¯—TáhMDŠé‰ëëþIG 6½iIâJˆ(FáÐV¼Ož =Aú>/¨ :¼£yK¾¥+ìáѾn5áO|-^TöXÄÜ= ð,‡†8ýQáH>k”ž ®‰’ %ø°R™šm¯ZZ,‹éiŽh¨¤´ã•£¥á¼RAh4)1°íÉŽðF/ð‚X'C&ŸÜ‰Šš+øü\aá”#¡~I†ÇÐBÚÖ¨0v«‰íq yG‡5J �"ˆÉ«€ §ÄKIÝÓU¯L E�ópþ¥T“ \š�ýQYÛÖùòõ$é˜Yqi²G–“l€â1çôPõˆ ðÐanÌÇKÉ�Â|‰/8ðRvåbÆ)¶o9a'ÂP Ír–̈ÆÇ®�Γ"^%ƒ&úyµô_ná³[Ê‹~L�`V¡O¿ŸÇÐ=§V&Û‹®Îúi™Äâµ9µ8V�îxÄ*0ˆª"¥6"ÜWLN«OÔÍ«èÂ}Í–¹´š(ÄÅÞø‰S˜ c>”£é|¿§´Äp‡c$›�TŠÇòÖVÇÝ=|[ TšC„±%¢â†qÑmÏSÍ@luĀͩh“¨&T]¼¶4M�o‰”`”äM�yBaªZ¦kÕâ¹îiG„KN'Øüžó�©*¼F^ë !ÒµÂYNÞôäB÷´Eפ6NZÔcem¢{Ö_Z…&‘ÄèÚ·:d9èJ#Ôaz�”¦À:—šðÙÌÏ|M’ XôUÒ=í£�m¨Â§¹‘Ža��Ñ é@Á’EÅwH'‚»|&-`Ýz´ñ2µñÌP2ë‡KÏ4yHÒà䃦“‘(Öúô¹ìêÏ|:�Ë4ê"xá’µ7­*±,Ò"©€Ú[ÒR†óÇH•"õnh¥±dSÀ^ScÌô}{¢½åö Cݲv&}m< n€Ôo<ÿ„ðOè`�@àLJ±¸c�z <0ñ X5ñ’M/u³]ðo �O#“d×Rl–�)Œ4´¶<íg¯^­WÇͨÿ¸^ÿØNöóSVét´Ç×ÃJœmÆ'†ÑÔmŽ fÀ¾^þOj|³¹>â“ûÝ·óü ¶>†˜{…³‡G–] ’Âq̈́Ŷw»Ñ…cË^<À8’DnŽ·³KI‚ÐF3ŠÞ†VlóÛM Ï�í¡h=1 RdÓ{wámñ„H¯ÚïÂö¶Ú&ÑO-ƒ" ÊÑ?NxñÅyøiæÄZ´šŽ,B‹ÚJœØ®ÚpT�|~äþ5É?AÂ’ V�}t«EØXå°Ó*Âÿþ$…£ãúfëšÀaèzŠ×Ø‘-ä ¯dr’š $àzþŽ�»{8v´ôý•! 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