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For a resource within an xmpMM:Ingredients list, the ResourceRef uses this type to identify both the portion of the containing document that refers to the resource, and the portion of the referenced resource that is referenced. http://ns.adobe.com/xap/1.0/sType/Part# stPart Part http://ns.adobe.com/xap/1.0/t/pg/ xmpTPg XMP Paged-Text internal XMP08 Spec: An ordered array of plate names that are needed to print the document (including any in contained documents). 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Res.þÿ þÿ10þÿ, 2893 \(2022\).þÿ\r:159)/F 4/H/N/Rect[513.431 605.019 518.309 595.464]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 769 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ30.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿBenea-Chelmus, I.-C. et al. Gigahertz free-space electro-optic modulators based \ on Mie resonances. þÿNat. Commun.þÿ þÿ13þÿ, 3170 \(2022\).þÿ\r:160)/F 4/H/N/Rect[513.431 591.294 518.775 581.739]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 772 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ31.þÿþÿ þÿþÿOgasawara, M. et al. Electro-optic polymer surface-normal modulator using silicon h\ igh-contrast grating resonator. In þÿConference on Lasers and Electro-Opticsþÿ JTh2A.48 \(2019\).þÿ\r:161)/F 4/H/N/Rect[513.431 577.568 517.569 568.013]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 775 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿ32.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿZheng, T., Gu, Y., Kwon, H., Roberts, G. & Faraon, A. 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Scale bar, 2 ¼m:192)/F 4/H/N/Rect[208.683 689.52 216.281 679.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 695 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[204.347 506.77 294.803 496.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 698 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[39.685 496.02 126.072 485.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 701 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ59.þÿþÿ þÿþÿSoma, G. et al. Subvolt high-speed free-space modulator with electro-optic metasurfa\ ce. þÿFigshareþÿ þÿþÿhttps://doi.org/10.6084/m9.figshare.28281509þÿþÿþÿþÿ \(2025\).þÿ\r:193)/F 4/H/N/Rect[145.66 496.02 154.841 485.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 704 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[187.326 357.254 275.038 346.334]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 707 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[56.6929 346.504 137.532 335.584]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 710 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[461.498 464.874 547.186 453.834]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 712 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[306.142 454.004 383.983 443.084]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 714 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[437.521 421.754 550.844 410.834]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 716 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[306.142 411.004 355.868 400.084]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 718 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[306.142 303.504 399.165 292.584]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 741 0 obj <> endobj 898 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 338 0 obj <> endobj 897 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 896 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 895 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 894 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 725 0 obj <> endobj 893 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 892 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 891 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 890 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 889 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 888 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 887 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 479 0 obj [482 0 R 486 0 R 489 0 R 492 0 R 495 0 R 499 0 R 502 0 R 506 0 R 510 0 R 514 0 R 518 0 R 522 0 R 525 0 R 528 0 R 531 0 R 534 0 R 537 0 R 540 0 R 543 0 R 546 0 R 549 0 R] endobj 818 0 obj <>stream xœ½}ÉŽäH–XÐÐ!>@#�&b gÑHsÈÊ¥«••Ù•1Õ­Î wF;ÝIo_22ëÐß “>C Р¯èûü„®z‹™ÑÌH†GªFGºÓ¹<{öö�Á/¾úõÛ8¸=\ÄÁÕw_ý÷¿¹øúêâ«gðË ‰²¸ ¢<«‚ê3W|u%þGˆàêæbÅðï ÿMóàêþ¢ bø_¤U”—2ŽEZ¤A"¢4M³àj{ñ.ü~!ÃúxÚ/D6}ëúc³ºëúMûyñÏWÿxñâêâ�Ø ÿÜbL�Q@ ”` † E’NåOTE*£TÆYœ”i‚°…¯šã]¿>,®þ@·Køv¥¾G9¾E’EylßâõîØ®êMph·§M}lûNß-å»ÂJ„/Šó„eBß>ño/Ò¨´!|~Ûõƾýá2¸TF¢Âÿʸ¤žÞ‘uPÇ;@9¬8lšåb™Ee¸n·Mw€{¼7‹%<Ù\ÑvíÑ»‡¹èf�w¹Y$q”„ ÝÔ:­[ÑÏÍBQI‡sQ†mk¨âµ‹‚מ&U>·ø8�Dì,þöóÖý¶n»à}øòù"Í¢‚~HÒ"¼z¾°ô~liwáÔ…À…<í ü÷3üÎt~Ç¿Ÿ¶Íž¶ròÎ%Ü1 ¾ÁåãÉ lBEÿøßã"�â¢a±q*«bfÅy•¸ +¾kÀ_Þìi{Âz…ÛRj>ª ÚnÝ®è¤æô|6̆šûôÝåp¾ë¶_$øùS»n‚º[¯_ðC^ÛšÉö»”ùšEªÖ+� ÞÖdŽ¢óR¸ ó.Laya„2 %þ¹ DD«³,#Pð;þH‹ÍðìKB ¬qפÂ@Øl`Cã0 ®¥ û ¿>"� "¯ñx³u[ß’ü©·‡àp×ã}î;^ ¬"ÎõrX¤Eq9»ž"v98'xÙÞF²ýœåGÜ_„bŧùÂÌ<û,AßÞ{ØVÂÅ×›~u\÷§n]ïKÚöÏÁj�¨éaóI,0AT„:|G!áœ2âHÏ"4 ÄÊ|q~ò„YHËD”%Ì×±’i¢ÈÊ9”å±Ï×u·ˆd¸~àɰœÀí®ÖÀ°.æñˆ5‰gGYYñÉïBÀÞp…ÿ¾àoÛ𦠈h¿7ÄKyx¤sˆŸ¤¢':[ƒI¿¢¾Æa/è+à[FYX#›È�.N-lë»Ñ#€Xéä~ÿ²?à:aOã¬"TÂÇL1o�È,‰,b?¹-"ã´(3¬ÛÇàÈߣDæ‘L’¬™”S›dà×З{^m³;Ú² Ör@Vsd�Užö½¿k7M WøH€yJµñ!2<U6ÂJ.� aï `ž<+¢"¶qâ/kâ1˜9 ³‚KÜb &!ÂÖõ•'à! 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The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\ \)"#þÿ2þÿ can be modulated at high spee:172)/F 4/H/N/Rect[62.171 678.803 69.5952 668.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 489 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimeri\ zed resonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþ\ ÿ\)"#þÿ2þÿ can be modulated at high spe:173)/F 4/H/N/Rect[158.546 614.27 173.808 604.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 492 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimer\ ized resonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿ\ tþÿ\)"#þÿ2þÿ can be modulated at high sp:174)/F 4/H/N/Rect[141.496 560.52 149.859 550.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 495 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integr\ ated DBRs.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns\ on both sides. Scale bar, 2 ¼m. I:175)/F 4/H/N/Rect[58.5928 549.77 75.0416 539.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 499 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ27.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿBenea-Chelmus, I.-C. et al. Electro-optic spatial light modulator from an engine\ ered organic layer. þÿNat. Commun.þÿ þÿ12þÿ, 5928 \(2021\).þÿ\r:176)/F 4/H/N/Rect[134.268 453.053 138.885 442.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 502 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿ32.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿZheng, T., Gu, Y., Kwon, H., Roberts, G. & Faraon, A. Dynamic light manipulati\ on via silicon-organic slot metasurfaces. þÿNat. Commun.þÿ þÿ15þÿ, 1557 \(2024\).þÿ\r:177)/F 4/H/N/Rect[140.246 453.053 145.563 442.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 506 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ50.þÿþÿ þÿþÿJoannopoulos, J. D., Johnson, S. G., Winn, J. N. & Meade, R. D. þÿPhotonic Crystals:\ Molding the Flow of Lightþÿ þÿSecond Editionþÿ \(Princeton Univ. Press, 2008\).þÿ\r:178)/F 4/H/N/Rect[146.924 453.053 152.715 442.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 510 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dime\ rized resonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þ\ ÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be modulated at high s:179)/F 4/H/N/Rect[194.165 356.303 202.18 346.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 514 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿ46.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿJin, W. et al. Benzocyclobutene barrier layer for suppressing conductance in no\ nlinear optical devices during electric field poling. þÿAppl. Phys. Lett.þÿ þÿ104þÿ, 243304 \(2014\).þÿ\r:180)/F 4/H/N/Rect[289.065 130.52 294.803 120.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 518 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ57.þÿþÿ þÿþÿHammond, S. R., Elder, D. L. & Johnson, L. E. Plasmonic organic hybrid electro-optic\ modulators as a platform for process optimization towards extraordinary nonlinearity and exceptional stability enabling commerc\ ial applications. þÿProc. SPIEþÿ 124:181)/F 4/H/N/Rect[165.139 98.2704 169.872 88.0899]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 522 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dim\ erized resonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(\ þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be modulated at high :182)/F 4/H/N/Rect[476.149 732.52 483.987 722.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 525 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿPassive characterization of the fabricated devices.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Optical\ \(top\) and SEM \(bottom\) images of a fabricated device with a 60-¼m-square size before spin-coating the OEO material. þÿbþÿ, Meas\ ured reflectance spectra with variou:183)/F 4/H/N/Rect[463.25 678.77 480.369 668.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 528 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up.\ The electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measure\ ments in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ,:184)/F 4/H/N/Rect[515.308 657.27 524.094 647.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 531 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up\ . The electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measur\ ements in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ:185)/F 4/H/N/Rect[552.319 508.156 561.26 496.582]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 534 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-u\ p. The electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measu\ rements in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿg:186)/F 4/H/N/Rect[507.547 410.02 526.792 399.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 537 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-\ up. The electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the meas\ urements in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿ:187)/F 4/H/N/Rect[330.713 345.52 340.13 335.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 540 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set\ -up. The electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the mea\ surements in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,:188)/F 4/H/N/Rect[321.333 334.77 330.234 324.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 543 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ58.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿXu, H. et al. Ultrahigh electro-optic coefficients, high index of refraction, and\ long-term stability from Diels Alder cross-linkable binary molecular glasses. þÿChem. Mater.þÿ þÿ32þÿ, 1408 1421 \(2020\).þÿ\r:189)/F 4/H/N/Rect[548.561 173.52 553.937 163.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 546 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integ\ rated DBRs.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR pattern\ s on both sides. Scale bar, 2 ¼m. :190)/F 4/H/N/Rect[393.062 130.52 400.66 120.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 549 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with inte\ grated DBRs.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patter\ ns on both sides. Scale bar, 2 ¼m.:191)/F 4/H/N/Rect[485.702 66.0204 495.844 55.8399]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 935 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 934 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 933 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 932 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 931 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 930 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 929 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 928 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 927 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 926 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 925 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 924 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 923 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 922 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 921 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 920 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 919 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 918 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 917 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 916 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 915 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 462 0 obj [466 0 R] endobj 816 0 obj <>stream xœ­ZÛrÜÆÍóþƒ]ó¤ªîÀ&.WQ$%E")9\_b)•�áîØØ¼HSŸ‘åò“Iz.¸ {óJª"¹ÌôtŸ9}ºgÐo“ç¯n-´('š_MžÿôÎFùä»É‹ùäù9|’°OLÏš!3ðf¨LhûÄó¹ýO Ùh~?1L ~'ì· ùã$Bü��;3ƒÈ·,Û ]䨦뺚¯&´Ý×âª^ë¶¥aÄ_ѼÂÉ’æY¾xÒÿ13¹œO~c†%ìÇ£4ñåJš¸ùÑOïœÖz‹[ íµ{íÎ^·1x¶ÕàÐõM×·<ˉ\G˜íéžh–îÍÌP3¹•Ïo‹˜~óÍ󳤪ãlޝ´ÿþïO+ýÛo_\œO4¤Ï™\^ŸOÓv˜ežÂ@½Ôm6ÊšÓë†ozZ™Ä´Ê)Éuǃ�§èL7lËt5á Å™‰.¿" Á´B¯^B8ÃIndƒäF^T$‰3xÂ…‰™y2Àïž'¦]åi�ÅÉ)z$Õňæ4Ëá”ÁkR¯Ì|W­pÅ rµ¸„0 îuðÏŒý‹¬™'Šª%Þ:_F¨\V¼F1Mùtò=—½',o‡Ä ²ÂzÿS Ë¢çtÑ‹XôE±bPe¢sÝp,Óáo9n¨å«÷oMÍv‰‚>"Fì#·›"d‹ß�ˆTàø0¦ç‹jvÐ<³T x¡º>˲ÐGMzÓ`rü�º0΀-úŽâA�­P³VNAÜ›zŠþ®Û0ŽÏ­ñBO3§èçeLS¤›¾ö£n~Èah£Ï^`öèO&zÆŸÿ™›Z·O¼6Ñ{ Ì,^“O2è }[ChŠ ?ÞCDŽ@I@çkt—8E;†^Ô$…oÀxv´2§|Œ¿w!àîš#Q«øk¼Öý^¸…œ#!çÈfè:Ü »‰¡íéFðÑp‚MÚfxÍóSdK$y3‡mÂQw½^˜½œ–é;ž N1È)°|¯…ód`kJÊ–ôøJ;ê‘_‚Ö -ey”ŨJ†¸Å ü±tm…KEþ£ |€Œ¼hl…É2Œ¾&٪܉�3>yúÀòEoç qÜtpüøa †’œ¢½Ütæt¨�¡·¬ÀqG¡0X‡ÇôO𬊠—aì4Xü¨»Ì˜, kp*9×î“7²*Ö„V„.P™g5c#Åkò0ØÞé‘Á¾¬‚O„ÛžôEst%œ…«êHºp%]¸œ. ]üo/lÓžù|n·ïJ°?ûJ~õU?Àîïü)&xX¸fÚð•P劃y¦±Ð€P�å�Ì7-°ÊrDZÍõ oTMã»l‡â¨.þ UQƒ1B“¶¶b­IgB:¡ŠA,_É”t¬:S©å\Øy‹Þ/s•Sò£@2ò¥Ï´ÙlâF–`ÿs`;\4¡oÙ|@)ŽÓ'øZ‘­†Þg�ë‘è x's ^‹ýû@c‡3NÀ„Îír‹`¨–1|Ú0Ó3Iž‚Ÿ)º1ÑD”É>eŠ–d±DIN+©üK—í˜Q;³º¡"F>Ä8o¹ˆß�ÏtÜ6ý3¾)6�A¹š#š–×°M¸¾g÷5ˆ¯îýPìÉÏ‚ m�ÖŠÈAûðcG|3¶ ²]ð£Â'”~’‚&tЏHæs0GÇ/0ý¤ú5á‘zR�“dù]]aŠYFZ¼FY¬~ã©Á¦ÈB!ËBe]c„j‘‘ÏVª”¥uÒ¦6Q¯ K0Y3¢T¥�Òi¦´^3ŽÉ2ß×géù÷g׊¦Y˜-r†mÑáš:Ί‚U¯>'å÷K�ˆ§Ÿ|Éæ—J™¡éÚEP¹®6¸¡äU�EûùoÖCHÈÙÊ�}Öƒ~øBö²œai¶�ï@rY¾¯"$:�ïneçdŠÞšM‡€gDÞ1Ø Âgèu ßýÙD¯ Æ0=Ÿ~·_�ú¦0/GíÖ­Ù½¶f/¿�ló”·Á˜Ñ¯ï&– YDR ÊzKšß)ÁK…‚¥<ÁRŒ½þ6‹cùAöÑ‹#›Žl8Ü?žÙA�µàµfÍ"+¯WøY¢ °)ìÙÛÁ^®â\*ÚÝóÙ‘DƒfÁL÷½/¤àÞ æåxH~U6“Àì•"$pÑÄs™7ÁP¶œ”r\ò]o×ðÇ‹|‘‚nR=´ñà¦z|†Þ’‡r·Œ*h}º6Æ9ð¬TÌ~ZAý±îêÍñ2¤IÕ¼­»<~Zœ„fè÷Þ°O&§\´ÞT¿¦Œè»=(†ì¯ôŽ[ÿ„îòš¦¨lÊéªZÖHL-Z׫Ñ�h�mÄž\س¯ÄSÇ« Kª «)À£ë×±ƒÙ#v콎æ‚X‰÷L¦Ëíœ'{äõQ7ËXy½[#·¯{;vÀ#e·ÿ¥N=Þä1…$¯³ªï7�ĸ�ÉÞÊ—ÐÕ«©^ÉYYÂa~!”öždIé†íµëæ˜a b§ýþº»ÉzéaŒ×Õ-9RNÆ<—›p-këú€Ív͸ååŸÑužqW¦¢c€ÑËLU@óåük÷ÀB‹eµ•ÿÞ+®™^q˜ …ª«Mì˜èRñLJxc~ë\ì^)ÓEtÇ ea8Äå{¨ i}ÏWEÉ€«Aèø¥ìZ’"A�b×µM;bI=ñã†ì„FâÕ>½y.ÎE^ê‘bê½£9#u.…Y–aà#ŸêËŠëÝ]Ù6¨;¿ÍïÑŠPÂщÚy`íî^Bu›„êµ uWÃ@$Z¡#½ÖÙF¢ü –Æj¼F�°Ì;F· a˜ NlËþ#Kz©‹]G‚*3 —`c $p;9ìªýîÙg! 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Metasurface-based funct\ ional optical splitter for a spatially parallelized dual-polarization coherent modulator. þÿOpt. Lett.þÿ þÿ49þÿ, 7238 7241 \(2024\).þÿ\ \r:152)/F 4/H/N/Rect[190.759 700.27 195.637 690.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 414 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ56.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿMorita, R. et al. High-speed high-power free-space optical communication via dire\ ctly modulated watt-class photonic-crystal surface-emitting lasers. þÿOpticaþÿ þÿ11þÿ, 971 \(2024\).þÿ\r:153)/F 4/H/N/Rect[240.899 678.77 246.348 668.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 418 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[121.362 560.52 289.941 550.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 422 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[362.467 217.504 516.485 206.584]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 426 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[448.086 67.0044 539.976 56.0844]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 430 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/F 4/H/N/Rect[323.15 56.2544 385.73 45.3344]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 453 0 obj <> endobj 943 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 942 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 450 0 obj <> endobj 941 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 940 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 939 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 938 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 937 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 199 0 obj [202 0 R 205 0 R 209 0 R 213 0 R] endobj 812 0 obj <>stream xœì½[¯eIrfÝH  X¢FCJC6µ«„Ù»×Ê•W@@g( ‡Ô´MlA¨®:ÕuÈSU=U§¦9|}·e[¶lÀ�üô¨¿g;¾/"okíSÝÓC?H`¦ÎÎÈuÉ•·ˆ/"2âôãGÿö�–Óçï-§Oþé£�ÿð‡ëé·Þ<úýG¿ùÉ£�¿'5ÏPsñK9]¢/§wÏ^·;>þdý—Ëi=}òâÑù²Èßgø»ÅÓ'_>ʧEþ—O[¹Ä–eÝÒvrëeÛ6úäÕ£?zü»OÂã§÷ïß>Y—Ç7'–^¿¹¿yöòõ›»7ŸÿôÉ¿øäŸ<úþ'�~Œ†=Ã?_ZðÊšx¬úúÖú…-°ö®µ½«¶Wš¹áÞ˺z6÷â× M¾¸p ñ‹+Ë×õ䊿Äeñ‹Ë›Ó¶ÿÁ_.e‘ÿÖà‚4ÿæÉê/¹à¿¸æÇúDJ�¿¸yöä.ëãûÓý˧øçæÝ“2\vszusÿöÖ®zwzöôõé³›Ó é”óºàÆ—7oO·¯¾x;?þÍ“u|ÌOPL,º-=¾y~zúîɶ=>±/Ëlhœ ¾°}ê<@y»HaüÔçÒf¡goo?“vs'/Gk¿|²�]pá»úxÈcÊéì¤ãä�Ï=þ?Ÿ|òÇ�>þÑO_ÿÃøño<»ÿôî“›?½üÿü¿ÿɧ÷OþÑ?úÍßúÞ#i°\ôýö=´µÍ'oä6—¡è.ÛÜì?xy{wsúRºÃóò)°£¢”Ÿ>{y{ó¿I è3ö±T>{‚?o¬øüüòöó—§Wož¿¿{zûæµ 5è¿þìöæõ3ÓÖâ§è“€RöÉ?þîéöc*WÙXHÓ],}EX÷ólœ |K^ÊnRèdH6 ð!ŸáÃÚÕ?•Ø•ly«xñþîôæ‹ûÛW·Æ»œ~pûö'îýw1WO7ï¦äÒ§÷Ó³ož?9_Š}V—ÓÕÕ§Á<׿ÏõË<׿åé‹› §®þýò‘¿oïæCÇr�Ùó*WÊÌq2nY¶²ÅùìmÃÃjX —m)KI®ÛõG�Oodwzq òoþè‹Wýüàºçñχ·.á’/_¾:YeÞËt�¡¤Â¶}gýPÛVü˜B,i“õ{­u·¯OoÞ¿==¿ÁBý‰l'˜ò·ïN/ž¾­ öñ—QÌ©ÔëÞ¼w÷Ó“R¾xÃYöøž»ñóSýÀ%Û* N[¶äÇs“I:OߟL³åéÝûéÉiž¶'ÎË´-y™;9[/gífù|\'/9t3¶Åmu%g—¥A¶Ÿ]7åG­Ò °-2dM_ûª¾{´×�司žÊ4~ÚÓã}²h?ûüæ<ßûôÝn­�~ôÃ\7¢é™»ü¸�™Ûíœk~xÏ‘÷ïvÎ÷ïn_.í~';Ã�Ì ~ÿ yÑOXþ˜ooŸÞÙv]0€�tÐð—kcuWÆKmXúD‡E뜌mL‹OÒ2Œ˜Oº0öŒü«?r�þâåÑEÞ{õ+/§O^¾÷]/ù¢ŸÚvd3uXÒX./ž~&Ü™»ã“³ëüt³ ™ôÕ¾ò�þ]ò~O狤?ßÈ:vu²Ù¡üîôôõóºA×}ñæ?ç;ß¼~~‹&¾Ó]ûùÛ[~ÀOäS.îñ›»ûkÞ7Øwq>Ä%ø˜�-~|Æ T)bøj/¬ýúW¯%í7©§Ÿ³9]HÁž:|Ä‹¾… Tnfc'�Þ½|óþrˆ\ûL{²×>Ýõ¡¬²Ïq�{>Ù‚ôÌåô;¯OOŸkç±ïdãlcÌù%Ÿ&»ÀC_™Ó~k@k½ È)~ùõ þ¼ºaé^&“ˆ ?õ¢· €u>þÕ#;\l+\l+,1å㪒¯ qM(ÈJÈò¶0°Â?züCöÈãï£?œ¾·�îüÝ«þ•ó¶„ýµ!O3ñ?µÛ¥»Q�E»áåSþÑ~ñ]€%8 Q§_æ57ç{>èõ-‹2¬·–H³ó¥¸_öX ˜‰�oÞ¨èýôîô¶€§Ä!O…¨[Ü»&Ð~ù輊0±�äφ¥ÿ�¤Ù*‚ûPYä÷äóCm‘d·q|òxAæ¸+�ßsîo˜âÜŸ7ÙŸµ#F=ÿòöùýËà [tG¸lù£ßþÇÆêÍÞ:/œåüï_�ßéã~üþi}×ùÝíŸ)ñF ËÀqRe¨_%$¬ÁÆNlYOovxç¹ÌŸw¯žÞÝÉ_AR¯¹ÏÉÿߨðr�aQæ%@¯bЫ‰3Üåk¿<9§¡éÇ�yp½‹Ø¶›öµ ÿ•»°‹Z‹#{øÓÇ?zÿÅw7²Ü?…€fÿS‘³?¿œÂ§ODâž7Å·óCÞ¼¶ÿÂ÷­ý½ŸW͵©�×~·T]7Þ}ÕºÁi·n¾T”þŒ�ûæõ/¿}¥�ö(wê ¼¼ýìöþÝéGÏ^¾¹¿ÿ©ø)®9ßÝþÉâåÏn’™úöôå­ÌÖ6"à'»�|äò� #’Å~©<=ÝiGõ)Mþ³òÈ}eD¸ G8G¾ywûnZ2÷O_ëÕGnõ�T(Z?ú“oC”¸ÑÅׯh‹ÐÖ½HòÕ .»ýöÁÁX×ýй}ýL'þÓ�:AävÙ)M¤y"»ïQ¬!/’æâïó7_()¢¹ü+ûŸ,%C„¼ÈÀÁ¥&€ÿܼkã¥Ûð2l�÷ø�ÉÉe®:@·Ÿ§^·¾FO¿|uû £TÇHêþ‚7ãƒì(€á�î/Ë~)`°E6¦nBÿ÷ùã‡*ü�ûïŒu°I@w ›ƒìtÄׂ«ïîN¯ß@BØnašoÞþòôþÄþ ñ²qºy á©ìÅ; çÊ$ä¯* ÁçöÏþ¹U6-ÿ°ö¾ÑÞàrd>ï»öEìxüÞî‹�_¶š§íj¾îM{Óý•7ݵëL˜â´l­V‘à«ZÈKâðvÞñ¼=ú¶Ñ¸�ZgpBªpÒžÒæÝÕ§èeIJ+Ç.WÉùê–ærÂMŒ]Ìû%ÿZU‰Ûã{‘ò¿„»Ž3E¤áÛ=©Þ Œ±‚Æž¬èSLr)øèYo{¶ª·÷?=ͳóý[H´Ó+íÞ›W·÷÷²³ Ê¡*#ȆgRÛ–¶‡>?dðYámÜñùw6�‘»�ŽW|ü¶Ï+Î’/ž #¹Ô‰}?øçœ½æ4΀×ú }"fÁ ^òy›[Ÿ~‰º›&ëv^Ì©øgDÈÒuZÉŽƒl¤ÛÅQ1p“9c*§a´> x‹··ìòWõ·àm™¸.+*8v¸v„}ãé©öÓO†¸EܵEöY+rx.¼í“'9Ômãô¢-ák]6vhêgÝqÊè|ײg�OرÇ�¹yýR¹LMŠŽƒ6w'3›âó�ìÍ ªD¥‚¯‚Áf‚�—y²îfºôxÒŠ¼¬esÛeõ%”´Ê0^1,àí·¯ïg¶¾—†o?¿½z¿gý?º=}þv">Å"$Shoß�^ßÜ<wºWYˆm÷‚›çïUлy~9LPh þ{ü�mÁž�ÒÃ~43TYa˜T`ŒîýKá™´hÒÐxåÓwˆ:ŸÛཾ;?Mç„ éô€w·w· ÝŸ×=€Àòëƒß›¶=r¸{:m�?Ý™pÞžÞqÚiù ÜA혛Úðî*+@“¡7ÂÄ}úÙ»7o¿àWÝ*l’ž�É¢ŸCóÁëB�•¶]1Ít4¸<#2!¤˜ç7Ÿ+–~®M¹¢áøòÑãßß)7ê[eëyÑsÈ€o)FA|¿Kåßwo^W©"äûÏL�ì\»³à£Ìþ¼£%æþö�>JÄo~ \5Õ¼z³¡ïžªAæ‹»§Ï0/eíýöÓßx'è÷ô;¯�ÆÀw·Ÿ¿¾ýeù%\|Ò@tq~{ðcŽS�5…™Mšºí•iÛ»"¡Ó @�$å|Ü +´<Ã#LÍùzЪ­¶—oWl®»Võî¯Þ|&³VävÀúðK®yõqÊpIÂ�=u2¦Ù°O2€y‘�Í•£aaó×ÕÔþ^Ÿ…�n[Y«Óñ{/§ÿœ+”›úW$9®Þ'ë¸ÿÔ¯ðùŠòeשG=øë³Ìµ'! 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Ultra-high electro-optic activity demonstrated in a silicon\ -organic hybrid modulator. þÿOpticaþÿ þÿ5þÿ, 739 748 \(2018\).þÿ\r:149)/F 4/H/N/Rect[159.515 227.27 164.452 217.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 209 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ54.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿLedentsov, N. et al. High speed VCSEL technology and applications. þÿJ. Light. Tec\ hnol.þÿ þÿ40þÿ, 1749 1763 \(2022\).þÿ\r:150)/F 4/H/N/Rect[195.637 66.0204 201.263 55.8399]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 213 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿ34.þÿþÿ þÿþÿFukui, T. et al. 17 GHz lossless InP-membrane active metasurface. Preprint at þÿþÿht\ tps://doi.org/10.48550/arXiv.2505.07072þÿþÿþÿþÿ \(2025\).þÿ\r:151)/F 4/H/N/Rect[474.68 238.02 480.534 227.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 982 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 981 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 980 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 979 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 768 0 obj <>/PageTransformationMatrixList<>/PageUIDList<>/PageWidthList<>>>>>/Resources 984 0 R/Rotate 0/Thumb 459 0 R/TrimBox[0.0 0.0 595.276 790.866]/Type/Page>> endobj 4 0 obj <>/PageTransformationMatrixList<>/PageUIDList<>/PageWidthList<>>>>>/Resources 986 0 R/Rotate 0/Thumb 470 0 R/TrimBox[0.0 0.0 595.276 790.866]/Type/Page>> endobj 180 0 obj <>/PageTransformationMatrixList<>/PageUIDList<>/PageWidthList<>>>>>/Resources 988 0 R/Rotate 0/Thumb 476 0 R/TrimBox[0.0 0.0 595.276 790.866]/Type/Page>> endobj 586 0 obj 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Scale bar, 2 ¼m. Insets: :142)/F 4/H/N/Rect[186.04 291.77 195.981 281.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 770 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated D\ BRs.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on bo\ th sides. Scale bar, 2 ¼m. Insets::143)/F 4/H/N/Rect[152.703 259.52 162.362 249.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 773 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated \ DBRs.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on b\ oth sides. Scale bar, 2 ¼m. 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Inse:146)/F 4/H/N/Rect[287.139 173.52 294.803 163.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 782 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrat\ ed DBRs.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns o\ n both sides. Scale bar, 2 ¼m. Ins:147)/F 4/H/N/Rect[82.6637 119.77 92.3288 109.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 785 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integra\ ted DBRs.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns \ on both sides. Scale bar, 2 ¼m. In:148)/F 4/H/N/Rect[85.3679 76.7704 94.8968 66.5899]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 1020 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1019 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1018 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1017 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1016 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1015 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1014 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1013 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 588 0 obj [590 0 R 592 0 R 595 0 R 597 0 R 600 0 R 603 0 R 606 0 R 608 0 R 611 0 R 614 0 R 617 0 R 620 0 R 622 0 R 625 0 R 628 0 R 631 0 R 634 0 R 637 0 R 640 0 R 643 0 R 646 0 R 649 0 R 652 0 R 655 0 R 658 0 R 661 0 R 664 0 R 667 0 R 670 0 R 673 0 R 676 0 R 679 0 R] endobj 989 0 obj <>stream xœÕ}ëŽäÆ•æÿ~�ÁÎN/øg&PI1HF�ÖX–´öÀ²§èñ 3^ÁãÍr/ »¦áf¥ª%�9+¤?캔Y)ó*/š²àÁoVUÖ¤ÇËó®ß&gþ#9?õÉ¿·éåôÐmè·~}8žöÝ.y€‰Âm-þO‰&íûõø¼já‹?¬OvÃãÓ9K¾/|3|FdXZ€5Oãå]*úÕ‡Ÿ™²™ßÇ4ŸŽþ^èµ#{%R~>±Ñ YUL!±D™¢ÊTîQfö—]w¦UÝ&0™ö°¶«Â}÷®ß¬Ö2=ÇCÒ€„'$…½ÜÆý0â3F¼c|Ö·³tYòë1ya¾ÙH6^Ž]xÃõU!ì@ 1PÛ,Ž­ÎCF{VH™§¤ÃŸ$b2\æèO$£„Q�ð¯Ë#^,§Ð7ýÏú-}o„ïU ».øÈ1(é™þ ;÷_öÀâ¥fü…öhÝ `…&Þ¨BµYU5²-EÙÂT+à$¥ ³QÓ²XÔ�¿Ä>E�oE®”’s$Ì’ßáÌPFáÏWyÜῸ‚4ñáˆ?`%‰B�§9bê/Þ­à»®R�®¼±É•ÊÃMÞMìól6êåDÒ²£ ûc8œikÂr§¤Ü¥Víȵ� x¼ Û>évGÔArF8L´IÖ`ðàbmßß© d‘ÕEóÀ_Ùl&�¢�Ö$“¹â{A«o‡PLŠõL›ê˜<€{èñ¤§ ; EYb7ÂW^š± ¨8iÖ›Ž%Û4?‡^…B¯B%—¡l"í-/Ôe`íd7­œB²•sÿ)†O«%Þåñ ~2ZK½ó¬+-¸+1ôÊüöÝn<‚È4bô´¡Ï¦Q1Í[(Í}�æ¾zQ¸u¸3PÄ)2qŽô“„^O‹¥p±h=•µU«÷4Û‰ÊØ‰wÉñq|IN†Ýtã ‹G¥×zÓVBe"ÚDù-M©Dn¢û~v�0£í;¸ÖiåŠùñ¯ ,n†³gyÕò4îÄSò³' °3&|~Ù�ÙJ0¦'óúÎãÚÊ_½+\›+Ô¼E“×J˜Õ#mxxðÙ¸µ)îÔ£Ór’L¸E‡x«ûcò«Ì¥¶*ü OœMª¤I�èÚ ûÁ°ïö.yy6O`tOÓ/}Á^å°Ñ@¸ D�­Ä­ëfKËOù»æ EÏ�—Á8.¸<,Û¬¦;в†eA³„¡½ž›N¡9£ÀaK°œ@¡Eê®®Á`Å÷ª†‘·À¶®º«ä5‘qƒ*¢)³JÂkÚtÞ Y²äË×D{„ödRmÛà6E[l؃¤ý…®€UP”Á^\óÊ_ÝŒ²©P¤¸/fJj …7é^ð£á¼FqI›’£�w°¸�dòŽäw<÷ðð0)ÝËEþ:©V‘‡­»™bC¶,ª¥‘ƒÑ |’ÝÃ;Év*¡~í6O2†Å*Z’r#]:kqˆ» 6ø?þ îDÏh0[ñ¶ø™Ñ°þlÐU-"«X·¢-‡[îSzOBöu2�aê¸[[Y-n*U†’»íûg2âñ�›§~ü´"·øø|özΓ|7:ĨŒ‘~3zºÏÆHa˜Û˯®e/Œmi,+ÑÈ%å&en(0¸?W¨�¢]“6ý/ñB”ÞBdÀ:f>­²ä7Z �úE?^`Åw¯«ÊõŠîHE¬?Oÿøï…§·ÄYäœ1±«=P6.@·& ™}ÙÝ"ÃpKÖJÌlô²¾µÑ+ntt€±|:ÀKϨúaiw½vôØÍ#{ûR€Z fèÙ¥�gŒ!v°·œµgwâ†%ÓÌ>ä[{�–_?äˆþ²¤¥6�V%^¾Ó3ÐÏ}²c¥YMÄÐ#xôž`¾ªMþ0 Vͬ E¬ÐoŠVÄ Ã+ÇÆ·©ù»ÆO:L­ÈÑw÷¬1T- « ²Ñ=G³LË"äU-­àÆ>Ÿ«dZßb+ÁZsÞÎEÝéäÇl+ƒ�LÌ3ìm—8¢¦‡¤=FÓî蓇Ë)Ð6ðð]êO L?Ñ1 ø2¨²™ýËu­Ú&ô8‚Šÿ±z�@k ó}ÒüÓËóóŽHÙÁh ¼ø»ú~4–»„ï›ÜCAb C¯§v�à(šëÁ~w�±¹L‘YTR´–ûgâ�Óâ$µ¾¥#|­#”ÔÁvþÍŸ¾RáJ~ÕïAæ'IÍ�ÇCbë¦y�RP�S Ý;+ê+vâ ¡·AÕ.þ+)Õøà…¯dVã ~sÞ aøŠ"HbRÈð�ºûÈq¡ºÐ�®U¥,Çp†Boû²PðØÛKC­dèªæž?¬ÑpA͹ÆH%îÐN;m'“²¸çŸa$þ¼òcë:rPárçùú°_îÝü�¸o/Œ~{Õ{e%27É`²E•41øåU(«0Z0ÝÖ5o¿¿œ "f™ÖÝø£3ŸÒ/¿Cá<}ü?ì¶Œí:¯sŒœw.QŸ|ÛŸŸŽÛ‘v m¼op1gr u(¡Û\6MY7ñ„¦œB�%/«E²e¸Oˆ¥p<›è­¶S´½4¢ õëqÊ-8¼i² ýáN3/,ùe´vÝ¿üé+DùÃï¿MþøtŸiKÍØëð¢g|�Ë!¯€W,¸]5ì.xY®:¼¬iKIKúz CnTN[�‹ºñ�SÒsqôö%vaìó1mÅø‹ H!oü¤Õ$ «CÒƒãàÛïY‚¦Óù%'k%')fX'Ea•¦h<íy�Ùªó‚dèòz/YܞP„{d눮Çßü–¿ÿ¿ïùç_÷Fô½\]&X!P¹yÕ"{` cÚÏ…a¥™pdÆ,¬e…™'Ø¿¡ÈhD:a.o¥Ëi�e&¥ÔþgÑÍK;˜�l�sÈZ‡Lx! 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The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ \ can be modulated at high speed via :111)/F 4/H/N/Rect[247.085 743.27 255.053 733.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 595 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ32.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿZheng, T., Gu, Y., Kwon, H., Roberts, G. & Faraon, A. Dynamic light manipulation\ via silicon-organic slot metasurfaces. þÿNat. Commun.þÿ þÿ15þÿ, 1557 \(2024\).þÿ\r:112)/F 4/H/N/Rect[169.449 678.77 174.971 668.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 597 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized re\ sonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ\ can be modulated at high speed via:113)/F 4/H/N/Rect[94.4189 646.52 115.309 636.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 600 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿ45.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿOvervig, A. C., Shrestha, S. & Yu, N. Dimerized high contrast gratings. þÿNanoph\ otonicsþÿ þÿ7þÿ, 1157 1168 \(2018\).þÿ\r:114)/F 4/H/N/Rect[177.918 603.52 183.458 593.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 603 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ46.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿJin, W. et al. Benzocyclobutene barrier layer for suppressing conductance in non\ linear optical devices during electric field poling. þÿAppl. Phys. Lett.þÿ þÿ104þÿ, 243304 \(2014\).þÿ\r:115)/F 4/H/N/Rect[287.063 431.52 292.634 421.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 606 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized r\ esonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2\ þÿ can be modulated at high speed vi:116)/F 4/H/N/Rect[275.461 420.77 292.512 410.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 608 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿPassive characterization of the fabricated devices.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Optical \(top\)\ and SEM \(bottom\) images of a fabricated device with a 60-¼m-square size before spin-coating the OEO material. þÿbþÿ, Measured r\ eflectance spectra with various dime:117)/F 4/H/N/Rect[261.222 399.27 269.967 389.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 611 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿPassive characterization of the fabricated devices.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Optical \(top\ \) and SEM \(bottom\) images of a fabricated device with a 60-¼m-square size before spin-coating the OEO material. þÿbþÿ, Measured \ reflectance spectra with various dim:118)/F 4/H/N/Rect[83.4849 367.02 93.2423 356.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 614 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿPassive characterization of the fabricated devices.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Optical \(to\ p\) and SEM \(bottom\) images of a fabricated device with a 60-¼m-square size before spin-coating the OEO material. þÿbþÿ, Measured\ reflectance spectra with various di:119)/F 4/H/N/Rect[95.1616 313.303 104.065 303.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 617 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿPassive characterization of the fabricated devices.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Optical \(t\ op\) and SEM \(bottom\) images of a fabricated device with a 60-¼m-square size before spin-coating the OEO material. þÿbþÿ, Measure\ d reflectance spectra with various d:120)/F 4/H/N/Rect[168.13 291.77 177.714 281.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 620 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿPassive characterization of the fabricated devices.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Optical \(\ top\) and SEM \(bottom\) images of a fabricated device with a 60-¼m-square size before spin-coating the OEO material. þÿbþÿ, Measur\ ed reflectance spectra with various :121)/F 4/H/N/Rect[63.7658 259.553 72.5531 249.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 622 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 2þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿPassive characterization of the fabricated devices.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Optical \ \(top\) and SEM \(bottom\) images of a fabricated device with a 60-¼m-square size before spin-coating the OEO material. þÿbþÿ, Measu\ red reflectance spectra with various:122)/F 4/H/N/Rect[63.7261 205.803 80.2177 195.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 625 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up. The el\ ectrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measurements i\ n þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ, respec:123)/F 4/H/N/Rect[83.5325 173.52 92.6056 163.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 628 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up. The e\ lectrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measurements \ in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ, respe:124)/F 4/H/N/Rect[82.6024 87.5204 92.1255 77.3399]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 631 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up. The \ electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measurements\ in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ, resp:125)/F 4/H/N/Rect[361.627 743.303 370.495 733.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 634 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized \ resonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ\ 2þÿ can be modulated at high speed v:126)/F 4/H/N/Rect[386.31 711.02 394.37 700.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 637 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up. The\ electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measurement\ s in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ, res:127)/F 4/H/N/Rect[355.603 603.553 364.384 593.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 640 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up. Th\ e electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measuremen\ ts in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ, re:128)/F 4/H/N/Rect[426.873 582.02 436.63 571.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 643 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up. T\ he electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measureme\ nts in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ, r:129)/F 4/H/N/Rect[500.032 528.27 509.052 518.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 646 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 3þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿActive modulation of free-space light.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Measurement set-up. \ The electrical signals from the waveform generator were set to triangle, sinusoidal and data modulation signals for the measurem\ ents in þÿbþÿ þÿdþÿ, þÿeþÿ and þÿfþÿ,þÿgþÿ, :130)/F 4/H/N/Rect[363.102 453.02 377.412 442.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 649 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ51.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿChang, F., Onohara, K. & Mizuochi, T. Forward error correction for 100 G transpor\ t networks. þÿIEEE Commun. Mag.þÿ þÿ48þÿ, S48 S55 \(2010\).þÿ\r:131)/F 4/H/N/Rect[556.652 431.52 561.26 421.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 652 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ52.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿChen, Z. et al. Observation of miniaturized bound states in the continuum with ul\ tra-high quality factors. þÿSci. Bull.þÿ þÿ67þÿ, 359 366 \(2022\).þÿ\r:132)/F 4/H/N/Rect[348.58 302.52 353.645 292.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 655 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ53.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿDolia, V. et al. Very-large-scale-integrated high quality factor nanoantenna pixe\ ls. þÿNat. Nanotechnol.þÿ þÿ19þÿ, 1290 1298 \(2024\).þÿ\r:133)/F 4/H/N/Rect[354.975 302.52 360.04 292.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 658 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated DBRs.þÿþÿ þ\ ÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on both side\ s. Scale bar, 2 ¼m. Insets: magnif:134)/F 4/H/N/Rect[498.224 302.52 507.185 292.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 661 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized\ resonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#\ þÿ2þÿ can be modulated at high speed :135)/F 4/H/N/Rect[393.336 281.02 409.816 270.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 664 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated DBRs.þÿþÿ\ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on both sid\ es. Scale bar, 2 ¼m. Insets: magni:136)/F 4/H/N/Rect[546.856 238.02 555.996 227.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 667 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated DBRs.þÿþ\ ÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on both si\ des. Scale bar, 2 ¼m. Insets: magn:137)/F 4/H/N/Rect[475.96 227.27 484.908 217.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 670 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated DBRs.þ\ ÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on both s\ ides. Scale bar, 2 ¼m. Insets: mag:138)/F 4/H/N/Rect[347.888 184.27 357.535 174.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 673 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerize\ d resonator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)\ "#þÿ2þÿ can be modulated at high speed:139)/F 4/H/N/Rect[323.504 130.52 331.089 120.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 676 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated DBRs\ .þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on both \ sides. Scale bar, 2 ¼m. Insets: ma:140)/F 4/H/N/Rect[547.344 119.77 556.139 109.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 679 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 4þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿHigh-speed modulation using an ultra-small device with integrated DBR\ s.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, SEM image of the fabricated device composed of a 10-¼m-square dimerized resonator with 20-layer DBR patterns on both\ sides. Scale bar, 2 ¼m. 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The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be modul\ ated at high speed via an external :90)/F 4/H/N/Rect[243.562 377.77 251.149 367.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 194 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ33.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿKosugi, Y., Yamada, T., Otomo, A., Nakano, Y. & Tanemura, T. \nSurface-normal elec\ tro-optic-polymer modulator with silicon subwavelength grating. þÿIEICE Electron. Expressþÿ þÿ13þÿ, 20160595 20160595 \(2016\).þÿ\r:91\ )/F 4/H/N/Rect[79.5643 324.053 84.8097 313.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 198 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ46.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿJin, W. et al. Benzocyclobutene barrier layer for suppressing conductance in nonl\ inear optical devices during electric field poling. þÿAppl. Phys. Lett.þÿ þÿ104þÿ, 243304 \(2014\).þÿ\r:92)/F 4/H/N/Rect[164.389 291.803 174.15 281.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 201 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonator.þÿþÿ þÿþ\ ÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be modu\ lated at high speed via an external:93)/F 4/H/N/Rect[107.133 238.02 114.855 227.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 204 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonator.þÿþÿ þ\ ÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be mod\ ulated at high speed via an externa:94)/F 4/H/N/Rect[82.7213 227.27 91.2167 217.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 207 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonator.þÿþÿ\ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be mo\ dulated at high speed via an extern:95)/F 4/H/N/Rect[58.6619 195.02 75.9379 184.84]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 211 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ47.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿKieninger, C. et al. Ultra-high electro-optic activity demonstrated in a silicon-\ organic hybrid modulator. þÿOpticaþÿ þÿ5þÿ, 739 748 \(2018\).þÿ\r:96)/F 4/H/N/Rect[142.038 162.77 147.032 152.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 215 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ31.þÿþÿ þÿþÿOgasawara, M. et al. Electro-optic polymer surface-normal modulator using silicon hi\ gh-contrast grating resonator. In þÿConference on Lasers and Electro-Opticsþÿ JTh2A.48 \(2019\).þÿ\r:97)/F 4/H/N/Rect[124.528 98.2704 129.279 88.0899]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 219 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ33.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿKosugi, Y., Yamada, T., Otomo, A., Nakano, Y. & Tanemura, T. \nSurface-normal ele\ ctro-optic-polymer modulator with silicon subwavelength grating. þÿIEICE Electron. Expressþÿ þÿ13þÿ, 20160595 20160595 \(2016\).þÿ\r:9\ 8)/F 4/H/N/Rect[130.631 98.2704 135.87 88.0899]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 222 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonator.þÿþ\ ÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be m\ odulated at high speed via an exter:99)/F 4/H/N/Rect[181.608 66.0204 217.582 55.8399]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 225 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonator.þ\ ÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be \ modulated at high speed via an exte:100)/F 4/H/N/Rect[252.617 55.3034 272.683 45.0899]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 228 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonator\ .þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can be\ modulated at high speed via an ext:101)/F 4/H/N/Rect[475.982 410.02 483.568 398.124]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 232 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonato\ r.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can b\ e modulated at high speed via an ex:102)/F 4/H/N/Rect[464.769 388.52 472.337 378.34]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 236 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resonat\ or.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can \ be modulated at high speed via an e:103)/F 4/H/N/Rect[485.24 291.77 506.427 281.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 240 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized resona\ tor.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ can\ be modulated at high speed via an :104)/F 4/H/N/Rect[464.064 248.77 471.597 238.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 244 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿ45.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿOvervig, A. C., Shrestha, S. & Yu, N. Dimerized high contrast gratings. þÿNanopho\ tonicsþÿ þÿ7þÿ, 1157 1168 \(2018\).þÿ\r:105)/F 4/H/N/Rect[321.267 227.27 326.748 217.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 248 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ48.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿSun, K., Wang, W. & Han, Z. High-þÿQþÿ resonances in periodic photonic structures. þ\ ÿPhys. Rev. Bþÿ þÿ109þÿ, 085426 \(2024\).þÿ\r:106)/F 4/H/N/Rect[328.187 227.27 334.292 217.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 252 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ49.þÿþÿ þÿþÿþÿþÿþÿKoshelev, K., Lepeshov, S., Liu, M., Bogdanov, A. & Kivshar, Y. Asymmetric metasu\ rfaces with high-þÿQþÿ resonances governed by bound states in the continuum. þÿPhys. Rev. Lett.þÿ þÿ121þÿ, 193903 \(2018\).þÿ\r:107)/F 4/H/N/Rect[546.699 205.803 555.955 195.59]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 256 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized reson\ ator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ ca\ n be modulated at high speed via an:108)/F 4/H/N/Rect[348.38 141.27 356.82 131.09]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 260 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿþÿFig. 1þÿþÿ |þÿþÿ þÿþÿþÿMetasurface modulator with an all-dielectric SOH dimerized reso\ nator.þÿþÿ þÿþÿþÿaþÿ, Schematic illustration of our SOH free-space modulator. The intensity of the reflected light "#þÿEþÿþÿrþÿ\(þÿtþÿ\)"#þÿ2þÿ c\ an be modulated at high speed via a:109)/F 4/H/N/Rect[481.319 109.053 488.736 98.8399]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 264 0 obj <>/BS<>/Border[0 0 0]/Dest(þÿspringernature_natnano_2000.indd:þÿ50.þÿþÿ þÿþÿJoannopoulos, J. D., Johnson, S. G., Winn, J. N. & Meade, R. D. þÿPhotonic Crystals: \ Molding the Flow of Lightþÿ þÿSecond Editionþÿ \(Princeton Univ. Press, 2008\).þÿ\r:110)/F 4/H/N/Rect[420.432 87.5534 425.954 77.3399]/Subtype/Link/Type/Annot>> endobj 1103 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1102 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1101 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1100 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1099 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1098 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1097 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1096 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1095 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1094 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1093 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1092 0 obj <>/Subtype/Form/Type/XObject>>stream xÚR(Tä0u endstream endobj 1091 0 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ÁùÁroޝs=òQ{�/7g•RÛ‘†åùñsAI=(ð¹ÒB®·–‚dõžZ£eÞÓËý‹—/l:w­ÜLõêIHë;�V5éøà`òðÌCÚ�þø.oöù÷ÕyJ«>/™3ÿÝ«;úÙehf{ü‹-“+·dÝ¢óùFŒßÍ}ÆÝé¹ô¶¨‹çw¯Þî�]–FNòÅéǺöVÔ³s½é=Ç'Öˆ2 ¥?T›Ï*döÁ`å—iŸ“ìå×÷ï^\¿zñ÷¨HÚµ‘”¿ò¾z|#Û¤u˜C}h.Èe¢y¶ß?wzwt43×ÛVáÛ ðÁ æªi´>ô†^Þ½{zÿŸ°Zèùçîñß¿x~÷ŸÎ»Ï—/hq·Šø Ë=úÙ;š•iå¸ÿè?úñOæ"»>ÚðÌIäòLfX»éÙ×/Þ}ÿòâ Ž/Ñ€¶<ž¾³ocÙƒƒÆ½òÃ-¹Ž¬n«"ÝŸòÔ¿u˜÷âð\8kËNÐlÐ>ͯ¿~Åß9Ì µ§7|~úrþSëüÙZE¡ÃÌõ…_IÙ¡t}Ïb{ß÷lÔ¿œ3Îßò Úé ^Y÷ãJ?èÍæä¶du6Ñ8¨5<Ü’ýôñŸÌ=Ó—ó#~ÃÓÕë7û}žß°¯º{‰soj-<Ä<•Õ2ÎÍîøOþ»/ªedù!Ýýã š+çó5­X×aàƒÁb/<�£Ïuf,wÈ6X<¨�˜?TÓ7”èöôi_k3–mŽ/o©›|ý/0×Êr?Y‹MŒÑŸè7Ã/^èžzVòg’=wSÌ.4ÎúÃZ›îûñ¡ñàáÆð'?þc©cc|-»‚¤ËÞW§Aà vAtx!/J �7Ô®ð«ç—/öçyß«§¯^o9ñóÞ½á1Åmˆ¿> ³±º©2†ÓTYcýÀ»>Ü.~‚Öúõ«?ÿúû×ó屯Ûww¯ž~vÇ›Aþ¯¿þê/òšw$—W¯ß¼¤Q`VÑæÌÝ—h§Áje¾ÍvÀë‹úp/ø¹®ïæœÁýGÛþýœHÞÙàÓiÅø�X mE ñÖ * ÇlË4Y�ÓSß¾~ÅRf¼9–ÐÈ÷î<î½úBFÆg¢ü²Ã+™ù°öÑÃð~òèã?¿úìîùŸÿÁ~ü£—ßÿƒ—ç%�¹4»”ÐæÌ˜[¬áòìå£�ÿäåÁÊÀ¹Ö;g©O a®fe¤™OOs=2£à+õ4GÀ9WxÕšÒåÍÝ£Ïÿý#|ÉoÅËŸÎ2sŸ›Ì9ͱ'Í ˆä7—£qî…gipÓËG[ÆÇåþчŸt?r|ùè'ô6?{ðØ&£µ<¶ ÔÂz,©û¬¢{ÊÁý§o(@Àè×ýõ¬hþê‘B¿þ³•’Ëo�_òëÙ8n#áÈ£ÿú?ާÉuNÊ)ÿú¿Îñ6ç›1r�ÿˆg×x››–ÔGñ×ÿu˜ÂdSô¡_“.ü 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